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一种三氯氢硅合成装置
本实用新型涉及三氯氢硅合成技术领域，且公开了一种三氯氢硅合成装置，包括三氯氢硅合成反应罐，三氯氢硅合成反应罐的底部固定安装有出料管，三氯氢硅合成反应罐的右侧壁面上端固定安装有进料管，三氯氢硅合成反应罐的顶部固定安装有限位...
郭继文任刚
一种三氯氢硅回收装置
本发明为一种三氯氢硅回收装置，它包括鼓泡器和回收罐，鼓泡器由三氯氢硅第一进液管道，出气管道，进氢管道组成，在管道上安装有多个阀门，其中三氯氢硅第一进液管道和进氢管道插入至鼓泡器靠近底部的位置，出气管道设置在液面的上方，该...
何霖冯焕鹏张勇关浩刘尚鹏
一种三氯氢硅精馏辅助装置
本实用新型公开了一种三氯氢硅精馏辅助装置，具体涉及精馏辅助装置技术领域，包括精馏罐、排料管道和进料管道，所述精馏罐底端的中心位置处安装有排料管道，所述精馏罐顶端的中心位置处安装有蒸汽出管，所述精馏罐一侧的顶端安装有进料管...
郭继文任刚
一种三氯氢硅的纯化方法
本发明提供了一种三氯氢硅的纯化方法。该三氯氢硅的纯化方法包括如下步骤：将处理剂与三氯氢硅粗品反应；所述处理剂为硅基磷酸酯；所述三氯氢硅粗品的制备方法包括如下步骤：金属硅与氯化氢反应得到三氯氢硅粗品。本发明提供的纯化方法可...
陈盛杨静刘广生欧阳凌峰周俊
一种新型三氯氢硅合成炉
本发明涉及硅产业化工生产技术领域，具体为一种新型三氯氢硅合成炉，包括炉体、供气段、气体分流模组、反应机构、换热系统、硅粉喷射装置、以及出料段，供气段和气体分流模组的连接处设有用来导引气体向上流动的分流孔板，分流孔板板面上...
彭浩樊东昊王国林王倩彭孝天翟鑫钰
一种三氯氢硅出料换热器
本实用新型涉及三氯氢硅出料换热技术领域，且公开了一种三氯氢硅出料换热器，包括底座和换热装置，所述底座的左端固定安装有温水箱，所述换热装置设置在底座的顶部，所述换热装置的左端上部设置有分流管，所述分流管的左端固定插装在温水...
郭继文任刚
三氯氢硅净化系统和方法
本发明公开了三氯氢硅净化系统和方法。其中，三氯氢硅净化系统包括：添加剂预处理装置，所述添加剂预处理装置具有金属单质入口、有机溶剂入口和添加剂出口；三氯氢硅预处理装置，所述三氯氢硅预处理装置具有三氯氢硅粗品入口、添加剂入口...
吴锋张天雨韩秀娟
一种制备三氯氢硅的方法
本发明公开了一种制备三氯氢硅的方法，包括：(a)将氢气和四氯化硅混合气与硅粉、催化剂同时送入反应器中进行反应，得到混合产物；(b)将混合产物通入除尘塔进行除尘分离，得到净化后的气相产物；(c)将净化后的气相产物冷凝后进行...
周黎旸童继红洪江永葛文锋徐鑫涛龚泽鑫童超丽倪念念
一种高效三氯氢硅反应器
本发明提供了一种高效三氯氢硅反应器，包括流化床反应器、第一进料组件、第二进料组件、喷射泵组件。流化床反应器、第一进料组件、第二进料组件通过喷射泵组件连接；流化床反应器内设有反应器预热及热移除组件，流化床反应器的外侧设有若...
陈士元林洪亚王家雨赵旻袁娟郑佳怡
一种制备三氯氢硅的装置
本实用新型公开了一种制备三氯氢硅的装置，涉及多晶硅生产设备技术领域，主要目的是提供一种能够防止提高风帽的使用周期，从而提高硫化反应效果的一种制备三氯氢硅的装置。本实用新型的主要技术方案为：一种制备三氯氢硅的装置，包括：干...
童翔王克云孙永仕万仕华梁国东郑万亮陈志兵周彦锋
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严大洲
作品数：431被引量：152H指数：7
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 还原炉 氯硅烷
汤传斌
作品数：251被引量：86H指数：6
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 氯化氢 氯硅烷
肖荣晖
作品数：187被引量：60H指数：5
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 氯化氢 氯硅烷
杨永亮
作品数：262被引量：81H指数：6
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 氯硅烷 出口
万烨
作品数：213被引量：64H指数：4
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：三氯氢硅 四氯化硅 多晶硅 氯硅烷 出口