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一种在脆硬材料表面制备高增透亚波长结构的方法
本发明公开了一种在脆硬材料表面制备高增透亚波长结构的方法，包括：制备待加工脆硬材料样品；对硬脆材料样品表面进行辐照改性，对硬脆材料样品表面进行扫描，对目标改性区域进行活化；在无掩模情况下，利用离子刻蚀技术对活化区域进行精...
姚彩珍蒋一岚牛龙飞向思衡蒋晓龙黄进苗心向吕海兵周国瑞
一种基于超材料亚波长结构的偏振分束器
本发明公开了一种基于超材料亚波长结构的偏振分束器，包括硅衬底和设置于硅衬底上表面且包覆有二氧化硅包层的硅波导芯层；硅波导芯层包括定向耦合器和偏振滤波器；定向耦合器由两段宽度相同的光波导和九段宽度相同的亚波长光栅波导组成，...
王志斌侯旭伟李正阳张九天
亚波长结构透反射超表面器件、波束扫描天线及扫描方法
本发明公开了亚波长结构透反射超表面器件、波束扫描天线及扫描方法，器件包括：中间介质层；布置于中间介质层一侧的反射亚波长结构层，其被配置为能够反射x极化电磁波并透射y极化电磁波；布置于中间介质层另一侧的透射亚波长结构层，其...
罗先刚张作军马晓亮蒲明博黄成汪江宇
一种在脆硬材料表面制备高增透亚波长结构的方法
本发明公开了一种在脆硬材料表面制备高增透亚波长结构的方法，包括：制备待加工脆硬材料样品；对硬脆材料样品表面进行辐照改性，对硬脆材料样品表面进行扫描，对目标改性区域进行活化；在无掩模情况下，利用离子刻蚀技术对活化区域进行精...
姚彩珍蒋一岚牛龙飞向思衡蒋晓龙黄进苗心向吕海兵周国瑞
基于亚波长结构微环谐振器的传感特性研究
随着科学技术的发展,许多集成光学器件在绝缘体上硅平台上得以实现。微环谐振器作为集成光学器件中的基本组件之一,具有结构简单,谐振性能优异,可级联等优势,被广泛应用于集成光学传感器领域。硅基微环传感器的可集成,小型化和高性能...
孙士博
关键词：亚波长光栅
具有亚波长结构的超宽带吸波器及其制备方法和应用
本发明提供一种具有亚波长结构的超宽带吸波器，其包括：衬底；位于所述衬底之上的反射层；位于所述反射层之上的第一吸收层；位于所述第一吸收层之上的第二吸收层；其中，所述第一吸收层为薄膜结构，并且所述第二吸收层具有由锗锑碲合金形...
李俊杰李晨圣潘如豪耿广州郭海明
亚波长结构RGB合波器的逆向设计研究
近年来，微型白光源的快速发展推动了可见光器件在传感、通信、显示和照明方面的新应用。随着近眼显示行业与元宇宙概念的日渐火热，扩展现实（XR）技术所需的微型白光投影设备得到了广泛的研发。其中红（R）、绿（G）、蓝（B）三色光...
路之帆
关键词：亚波长结构
基于亚波长结构超分辨率成像的PIM源定位研究
超高速率、超大容量、超低时延是当今5G移动通信时代特点，基站天线作为发射以及接收电磁波的设备在移动通信系统中发挥关键作用，该部分是通信系统具有优异性能的重要保障。但是多路大功率信号经过基站天线系统的非线性射频组件后，极易...
李欣婕
关键词：基站天线亚波长结构
一种基于亚波长结构的小型化狭缝波导模式转换器件
一种基于亚波长结构的小型化狭缝波导模式转换器件，包括SOI基体和集成于SOI基体上表面的波导模式转换装置；所述波导模式转换装置以SOI基体长度方向的中心线轴对称分布；所述波导模式转换装置包括沿光路依次连接的条形输入波导、...
王琳张磊石昊尹坤
一种基于亚波长结构的小型化狭缝波导模式转换器件
一种基于亚波长结构的小型化狭缝波导模式转换器件，包括SOI基体和集成于SOI基体上表面的波导模式转换装置；所述波导模式转换装置以SOI基体长度方向的中心线轴对称分布；所述波导模式转换装置包括沿光路依次连接的条形输入波导、...
王琳张磊石昊尹坤
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罗先刚
作品数：676被引量：325H指数：8
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
马晓亮
作品数：188被引量：85H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：亚波长结构 几何相位 超分辨 宽带 大视场
蒲明博
作品数：205被引量：65H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：亚波长结构 超分辨 几何相位 宽带 大视场
李雄
作品数：151被引量：91H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：亚波长结构 几何相位 超分辨 大视场 亚波长
赵泽宇
作品数：263被引量：41H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射