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光学计量系统和方法
本申请涉及一种光学计量系统和方法。提供了一种用于光学计量测量的测量系统。该测量系统包括处理原始测量数据的控制系统，原始测量数据指示响应于入射到样品的顶部部分的照明电磁场而在样品上测量的光谱干涉信号并且光谱干涉信号包括所述...
吉拉德·巴拉克阿米尔·沙亚里
光学计量中不期望的光谱效应的减轻
本公开提供了包括光学耦合到未知结构的感兴趣结构(SOI)的样本的光学测量，该光学测量是通过从所得光谱信号提取与关联于该SOI的关键参数相关的光谱变化并且从未知结构去除与这些关键参数无关的光谱变化来以光学方式进行测量的。离...
P·祖维拉史景胜赵威茗李洁
新质生产力发展背景下的光学计量建设
2024年
学计量技术发展现状经过多年发展,我国光学计量已建立起相对完善的计量体系,在光度、辐射度、色度、光纤通信、材料光学等各领域均已建立了量值溯源体系。各级计量机构为量值的传递制定了相当数量的检定规程/校准规范。可以说20世纪光学计量已实现了体系的初步建立和完善,而光学计量技术的未来发展将主要体现在测量范围的不断扩展,以及量值准确度的持续提高等方面。
姜中蛟
关键词：光学计量辐射度量值溯源体系校准规范测量范围
检测良透光性流体参数的光学计量装置及方法
本发明公开了一种检测良透光性流体参数的光学计量装置及方法，属于管道中流体计量领域，装置包括：用于流过良透光性流体的管道；干涉光束生成模块，生成干涉光束并输出；光学发射端，对干涉光束依次进行分光、聚焦处理，并在管道的中心线...
唐朝清刘文中
光学计量：照相机光学系统中耀斑和重影伪影的可重复定性分析
提供了用于照相机光学系统中的耀斑和重影伪影的可重复定性分析中的光学计量的方法，该方法可以包括：接收由照相机捕获的光阵列的第一图像，使用至少一个数据处理器分析第一图像以检测第一光伪影，接收由照相机捕获的光阵列的第二图像，在...
N·穆哈辛J·德维维迪刘友光
光学计量的准确度提升
本公开涉及光学计量的准确度提升。本发明提供提升计量测量的准确度的方法、计量模块及目标设计。方法提供对多个测量处方及设置的灵活处置且使得能够使所述多个测量处方及设置与指示其与谐振区域及平坦区域的关系的图谱特征相关。单独地或...
B·布林戈尔茨E·古列维奇I·阿达姆Y·弗莱D·阿鲁穆特Y·拉姆霍特N·夕拉Y·德莱乌T·耶其夫E·亚希渥L·撒尔通T·里维安特
光学计量系统和方法
提供了一种用于光学计量测量的测量系统。该测量系统包括处理原始测量数据的控制系统，原始测量数据指示响应于入射到样品的顶部部分的照明电磁场而在样品上测量的光谱干涉信号并且光谱干涉信号包括所述样品基本上不吸收的至少一个光谱范围...
吉拉德·巴拉克阿米尔·沙亚里
一种离散红外频谱温室气体流量光学计量方法及装置
本发明公开了一种离散红外频谱温室气体流量光学计量方法及装置，属于温室气体流量计量领域。方法包括：形成不同中心频率的N+2路窄带红外光。测量N路窄带光穿过气体之前和之后的信号能量强度变化，得到N路相应的吸收系数S<Sub>...
唐朝清刘文中
半导体装置的时域光学计量和检查
一种用于半导体装置计量的方法。该方法可以包括：创建由半导体装置的三维(3D)图案化结构反射的光的波长域测量数据的时域表示；选择时域表示的一个或多个相关峰值以及时域表示的至少一个不相关部分。一个或多个相关峰值发生在一个或多...
德罗尔·沙菲尔兹维·戈罗霍夫斯基雅各布·欧菲克达芙娜·佩默尔塔尔·海尔珀恩达纳·萨弗拉内克吉拉德·巴拉克斯马达尔·费贝尔
用于在线膜厚度测量的光学计量模型
一种用于对覆盖半导体基板上的非理想结构的膜进行在线厚度测量的光学计量模型是通过在该膜沉积之前执行预测量及在该沉积之后执行后测量来产生。所述预测量及后测量以此基板的多个偏振角或多个定向中的至少一者执行。所述预测量与后测量之...
黄进鸿爱德华·布迪亚图谢尔盖·斯塔里克托德·J·伊根
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作品数：101被引量：186H指数：7
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韩占锁
作品数：34被引量：42H指数：3
供职机构：西安应用光学研究所
研究主题：光学计量 纳秒脉冲 线性修正 判据 数字图象处理
于东钰
作品数：49被引量：86H指数：6
供职机构：西安应用光学研究所
研究主题：光学计量 激光 大功率激光 黑体 激光能量计
吴李鹏
作品数：34被引量：17H指数：2
供职机构：西安应用光学研究所
研究主题：光学计量 红外辐射计 红外光学 光电检测 宽波段
林延东
作品数：143被引量：195H指数：7
供职机构：中国计量科学研究院
研究主题：低温辐射计 计量学 标准灯 探测器 积分球