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光栅测量系统
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排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关度排序
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
一种
光栅
安装板结构及平面
光栅
测量
系统
本发明提供了一种
光栅
安装板结构及平面
光栅
测量
系统
,涉及半导体加工设备技术领域,为解决平面
光栅
在工作状态下的结构动态稳定性无法得到有效保证的问题而设计。包括
光栅
安装板、随动调节装置和主动调节装置,随动调节装置包括安装于
光栅
...
付大为
李腾飞
曹凯
平面
光栅
测量
系统
的离线测试
系统
本实用新型涉及
光栅
测量
技术领域,提供一种平面
光栅
测量
系统
的离线测试
系统
,包括VPX机箱、核心解算板卡、模拟量输入输出板卡、相位卡以及离线测试台。由于VPX机箱的引入,可以大大提高离线测试
系统
的各板卡之间的数据传输效率,进...
张翔宇
蒋晓宁
金鹏
董宜坤
光栅
读数头及
光栅
测量
系统
本实用新型公开一种
光栅
读数头及
光栅
测量
系统
,所述
光栅
读数头包括:光路处理单元;安装框,所述安装框的内部形成安装腔,所述光路处理单元设于所述安装腔内;以及支撑件,所述支撑件设于所述安装框的一侧,所述安装框与所述支撑件转动连...
丁康康
张群勇
陈凯
一种激光盒、平面
光栅
测量
系统
及光刻机
本实用新型提供一种激光盒、平面
光栅
测量
系统
及光刻机,涉及半导体制造设备的技术领域。该激光盒,能够设置于工件台,包括盒体以及均设置于盒体内的单频激光器和光电转换模块,前者用于产生并发射激光,后者用于接收并处理通过传感器之后...
常密生
范玉娇
杨月舳
姚瑶
一种用于直线加速器多叶
光栅
测量
系统
本发明涉及直线加速器技术领域,具体涉及一种用于直线加速器多叶
光栅
测量
系统
,包括固定机架、旋转头、伺服电机、摄像头、电路控制板和多叶
光栅
;旋转头可以被伺服电机驱动,实现360度转动,实现多叶
光栅
的俯仰角控制,电路控制板用于...
陈玉辉
李永胜
许世鹏
刘冲
李川
桑成林
一种气浴装置及平面
光栅
测量
系统
本发明提供一种气浴装置及平面
光栅
测量
系统
,涉及平面
光栅
测量
系统
环境控制领域。该气浴装置,热交换单元包括换热主体,换热主体内设置有多个气道和多个水道,气道与水道交错排布;水道内的温控水的流向与气道内的气体的流向相反;上层流...
请求不公布姓名
请求不公布姓名
基于双CCD的绝对式
光栅
测量
系统
仿真与设计
绝对式
光栅
尺具有分辨率高、量程大、响应速度快的优点,且重新上电后无需“寻零”操作,被广泛应用于数控机床、
测量
仪器等高精度
测量
领域。绝对式
光栅
尺同时包含绝对码道和增量码道,通常采用CCD或CMOS探测绝对位置,并采用光电池...
耿勇
关键词:
线阵CCD
编码技术
运动台
光栅
测量
系统
和光刻机
本发明提供了一种运动台
光栅
测量
系统
和光刻机,运动台
光栅
测量
系统
,包括运动台、曝光位
光栅
组件、
测量
位
光栅
组件和读头组件;曝光位
光栅
组件包括至少一个刻线沿第一方向设置的第一曝光位
光栅
和至少一个刻线沿第二方向设置的第二曝光位光...
吴萍
一种用于风洞试验微角度精确
测量
的调平气浮
光栅
测量
系统
本发明公开了一种用于风洞试验微角度精确
测量
的调平气浮
光栅
测量
系统
,属于风洞实验、
测量
领域。该调平气浮
光栅
测量
系统
安装于风洞试验段,
测量
系统
主要包括光学升降台(1)、支架(2)、微分头(3)、支座结构(4)、
光栅
系统
(5)...
苑伟政
周文源
何洋
周子丹
欧召阳
吕湘连
开放式圆
光栅
测量
系统
及其安装方法
本发明揭示了一种开放式圆
光栅
测量
系统
及其安装方法,在后部通过后固定环外周壁上的第一内凹槽与外罩内周壁上的第二内凹槽形成的内环迷宫,润滑油进入到第一内凹槽与第二内凹槽中的可能被降低;在前部在运转过程中,意外进入的润滑油首先...
高嘉铭
杨转玲
李金峰
靳松
韩瑞麒
杨文博
肖建明
格日勒图
王晗
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作品数:374
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