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一种光栅安装板结构及平面光栅测量系统
本发明提供了一种光栅安装板结构及平面光栅测量系统,涉及半导体加工设备技术领域,为解决平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性无法得到有效保证的问题而设计。包括光栅安装板、随动调节装置和主动调节装置,随动调节装置包括安装于光栅...
付大为李腾飞曹凯
平面光栅测量系统的离线测试系统
本实用新型涉及光栅测量技术领域,提供一种平面光栅测量系统的离线测试系统,包括VPX机箱、核心解算板卡、模拟量输入输出板卡、相位卡以及离线测试台。由于VPX机箱的引入,可以大大提高离线测试系统的各板卡之间的数据传输效率,进...
张翔宇 蒋晓宁 金鹏 董宜坤
光栅读数头及光栅测量系统
本实用新型公开一种光栅读数头及光栅测量系统,所述光栅读数头包括:光路处理单元;安装框,所述安装框的内部形成安装腔,所述光路处理单元设于所述安装腔内;以及支撑件,所述支撑件设于所述安装框的一侧,所述安装框与所述支撑件转动连...
丁康康张群勇陈凯
一种激光盒、平面光栅测量系统及光刻机
本实用新型提供一种激光盒、平面光栅测量系统及光刻机,涉及半导体制造设备的技术领域。该激光盒,能够设置于工件台,包括盒体以及均设置于盒体内的单频激光器和光电转换模块,前者用于产生并发射激光,后者用于接收并处理通过传感器之后...
常密生范玉娇杨月舳姚瑶
一种用于直线加速器多叶光栅测量系统
本发明涉及直线加速器技术领域,具体涉及一种用于直线加速器多叶光栅测量系统,包括固定机架、旋转头、伺服电机、摄像头、电路控制板和多叶光栅;旋转头可以被伺服电机驱动,实现360度转动,实现多叶光栅的俯仰角控制,电路控制板用于...
陈玉辉李永胜许世鹏刘冲李川桑成林
一种气浴装置及平面光栅测量系统
本发明提供一种气浴装置及平面光栅测量系统,涉及平面光栅测量系统环境控制领域。该气浴装置,热交换单元包括换热主体,换热主体内设置有多个气道和多个水道,气道与水道交错排布;水道内的温控水的流向与气道内的气体的流向相反;上层流...
请求不公布姓名请求不公布姓名
基于双CCD的绝对式光栅测量系统仿真与设计
绝对式光栅尺具有分辨率高、量程大、响应速度快的优点,且重新上电后无需“寻零”操作,被广泛应用于数控机床、测量仪器等高精度测量领域。绝对式光栅尺同时包含绝对码道和增量码道,通常采用CCD或CMOS探测绝对位置,并采用光电池...
耿勇
关键词:线阵CCD编码技术
运动台光栅测量系统和光刻机
本发明提供了一种运动台光栅测量系统和光刻机,运动台光栅测量系统,包括运动台、曝光位光栅组件、测量光栅组件和读头组件;曝光位光栅组件包括至少一个刻线沿第一方向设置的第一曝光位光栅和至少一个刻线沿第二方向设置的第二曝光位光...
吴萍
一种用于风洞试验微角度精确测量的调平气浮光栅测量系统
本发明公开了一种用于风洞试验微角度精确测量的调平气浮光栅测量系统,属于风洞实验、测量领域。该调平气浮光栅测量系统安装于风洞试验段,测量系统主要包括光学升降台(1)、支架(2)、微分头(3)、支座结构(4)、光栅系统(5)...
苑伟政周文源何洋周子丹欧召阳吕湘连
开放式圆光栅测量系统及其安装方法
本发明揭示了一种开放式圆光栅测量系统及其安装方法,在后部通过后固定环外周壁上的第一内凹槽与外罩内周壁上的第二内凹槽形成的内环迷宫,润滑油进入到第一内凹槽与第二内凹槽中的可能被降低;在前部在运转过程中,意外进入的润滑油首先...
高嘉铭杨转玲李金峰靳松韩瑞麒杨文博肖建明格日勒图王晗

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作品数:374被引量:1,611H指数:20
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研究主题:热变形 三坐标测量机 坐标测量机 热膨胀系数 误差分析
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作品数:238被引量:461H指数:10
供职机构:安徽理工大学
研究主题:数控机床 测头 三坐标测量机 高压水射流 机器人
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作品数:23被引量:56H指数:4
供职机构:安徽理工大学
研究主题:阿贝误差 误差补偿 堆栈式 光栅测量系统 工作台
耿金华
作品数:8被引量:7H指数:2
供职机构:安徽理工大学
研究主题:数控机床 光栅测量系统 引爆 粒子群优化算法 支持向量机
蒋敏兰
作品数:82被引量:194H指数:7
供职机构:浙江师范大学
研究主题:光栅 无线传感器网络 光学棱镜 产蛋率 步进电机