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一种硅单晶自动生长的方法
本发明公开了一种硅单晶自动生长的方法,属于硅单晶制备技术领域。该方法包括以下步骤:(1)根据历史拉晶数据拟合出最优的单晶长度和直径的对应关系曲线;(2)设定单晶长度间,并根据历史拉晶数据拟合给出每个间内相应长度的...
王永涛尚锐刚刘建涛李明飞闫志瑞
一种硅单晶全自动放肩方法
本发明公开了一种硅单晶全自动放肩方法。该放肩方法包括:(1)设定三相点1的切线角度和三相点2的直径;(2)通过三相点1的切线角度的变化确定单晶加热功率增加幅度,当三相点1的切线角度大于设定上限值时,单晶加热功率增...
尚锐刚王永涛刘建涛李明飞
一种硅单晶的分段式转肩方法
本发明公开了一种硅单晶的分段式转肩方法,包括步骤:(1)设定分段式转肩直径位置,设定值比目标直径小5mm;(2)设定单晶加热功率曲线参数及生长角度;在单晶直径到达转肩直径前,单晶加热功率按照单晶直径的增长而增加;在单...
尚锐刚王永涛刘建涛李明飞闫志瑞高源聂飞
一种改善硅单晶径向电阻率分布的掺杂装置
本发明创造提供了一种改善硅单晶径向电阻率分布的掺杂装置包括主环形管及嵌套在主环形管管腔内的掺杂气环形管;主环形管及掺杂气环形管设有相互独立的进气口;主环形管上沿周向开设有若干个主出气孔,掺杂气环形管上沿周向开设有若干...
娄中士刘铮王遵义郝大维刘琨王彦君李立伟
一种用于硅单晶单晶夹持系统的夹持装置
本发明提供了一种用于硅单晶单晶夹持系统的夹持装置,包括炉内底盘,夹持柱和拨柱轴尖;所述炉内底盘为一圆盘,所述圆盘上沿圆周边缘均匀开有若干组夹持柱固定孔,所述圆盘中部开有拨柱轴尖孔;所述拨柱轴尖包括轴尖、拨柱和连接轴...
孙昊刘铮涂颂昊郝大维王遵义刘琨由佰玲张雪囡王彦君
一种硅单晶的收尾方法
本发明公开了一种硅单晶的收尾方法,包括以下步骤:(1)当多晶尾料剩余10kg时,继续保持等径生长,直至多晶尾料剩余2kg时,均匀降低多晶尾料速度直至多晶尾料速度归零后快速提断,晶体拉速和加热功率保持不变,此过程单晶直...
尚锐刚王永涛白杜鹃刘建涛崔彬闫志瑞高源李明飞聂飞
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一种硅单晶的放肩方法
本发明公开了一种硅单晶的放肩方法,采用平头多晶进行放肩,对加热功率和多晶速度的控制方式为:(1)在平头多晶放肩初始,加热功率比锥头多晶放肩初始的加热功率高20%‑30%,然后逐步降低,到硅单晶直径为30‑40mmm...
王永涛尚锐刚刘建涛李明飞
一种硅单晶的放肩方法
本发明公开了一种硅单晶的放肩方法,采用平头多晶进行放肩,对加热功率和多晶速度的控制方式为:(1)在平头多晶放肩初始,加热功率比锥头多晶放肩初始的加热功率高20%‑30%,然后逐步降低,到硅单晶直径为30‑40mmm...
王永涛尚锐刚刘建涛李明飞
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一种远程控制自动拉制硅单晶的系统
本实用新型提供了一种远程控制自动拉制硅单晶的系统,配合一台及以上的自带PLC控制器的炉,包括远端控制工作站、设置在炉中炉室侧面的信号窗口、每个信号窗口外侧对应设置有多台相机;每个炉对应设置一台单炉工控机,...
李小龙王遵义刘凯张强刘琨孙健吴磊郝大维张志富孙晨光王彦君
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一种拉制六英寸硅单晶的方法及使用的热屏
本发明涉及一种拉制六英寸硅单晶的方法及使用的热屏。在单晶炉的中炉室内加热线圈的下方40mm处设置热屏,热屏罩的上沿直径为90mm,下沿直径为215mm,高度为40mm,冷凝管路中冷却水的压力为3.2bar;当进行...
李明佳李聪张瀚文冯旭郑万超刘洪张伟才
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相关作者

庞炳远
作品数:42被引量:5H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:区熔 硅单晶 区熔硅单晶 硅单晶生长 硅
闫萍
作品数:19被引量:21H指数:4
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:区熔 硅单晶 区熔硅单晶 高阻 少子寿命
索开南
作品数:46被引量:48H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:区熔 少子寿命 硅 区熔硅单晶 SI单晶
张殿朝
作品数:20被引量:19H指数:3
供职机构:天津工业大学
研究主题:区熔 少子寿命 硅单晶 区熔硅单晶 数值模拟
刘洪
作品数:6被引量:5H指数:2
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:FZ 区熔硅单晶 硅单晶 区熔 电阻率