搜索到13536篇“ 半导体薄膜技术“的相关文章
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高等院校材料专业系列规划教材 半导体薄膜技术与物理 第3版
本书全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础，全书共分十一章。第一章概述了真空技术，第二至第八章分别介绍了蒸镀、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技...
叶志镇
半导体薄膜技术基础
本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍，主要包括作为*重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术，在对各种技术进行介绍的同时，还对各种技术所应用的设备...
李晓干
关键词：图书本科工学专科教材
半导体薄膜技术与物理 第2版
叶志镇
关键词：半导体薄膜技术
超声喷雾热解法制备半导体薄膜技术被引量：4
2011年
超声喷雾热解法(USP)作为一种新兴的薄膜制备技术,已制备出多种半导体薄膜材料,并成功应用于太阳能电池、传感器、固态氧化物燃料电池等领域。介绍了USP制备薄膜技术的原理,结合近年来USP技术在半导体薄膜制备领域的研究进展,系统阐述了超声喷雾热解法制备薄膜的原理、工艺过程及在此过程中发生的物理化学变化,详细分析了前驱体溶液化学组成、沉积温度、退火处理等各个工艺参数对薄膜沉积过程和成膜质量的影响,指出了该技术目前存在的问题及今后的发展方向。
王世凯姜妍彦唐乃岭李焕勇胡志强
半导体薄膜技术与物理
本书全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术，第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积等各种半导体薄膜的沉积技术，第九章介绍了半导体超晶格等的基本概念和理论，第...
叶志镇…等编著
以半导体薄膜技术制作小型氧电极阵列及其在生物传感器上的应用(英文)
本文报道了以半导体薄膜技术制作小型氧电极阵列的方法。每个氧电极均由一个银阴极和一个Ag/AgCl阳极组成。其中,采用了含有polyvinylpyrrolidone(PvP)的干式电解液,使得全部制作过程完全适应半导体加工...
杨振
关键词：半导体薄膜技术氧电极
文献传递
以半导体薄膜技术制作小型氧电极阵列及其在生物传感器上的应用
杨振
关键词：开关电源彩电开关变压器
风华推出“半导体薄膜技术改造厚膜基础电子元器件应用技术”
2007年
2006年，广东风华公司推出“半导体薄膜技术改造厚膜基础电子元器件应用技术”项目。
关键词：半导体薄膜厚膜
一种β相氧化镓薄膜及其制备和掺杂方法
本发明属于半导体薄膜技术领域，具体涉及一种β相氧化镓薄膜及其制备和掺杂方法。本发明提供的制备方法：采用电子束将氧化镓物料蒸发在衬底表面沉积成膜；将得到的初级β相氧化镓薄膜在空气中进行高温退火处理；或采用电子束分别将氧化镓...
任卫张博宇王伟杰冯爱玲周倩张亚明李仃李怡
一种去除残留熔滴的V形狭槽铟砷基材料液相外延石墨舟
本发明公开了一种去除残留熔滴的V形狭槽铟砷基材料液相外延石墨舟，涉及半导体薄膜技术领域，包括盖板、母液槽块、衬底槽滑板和底座，底座具有U形槽，衬底槽滑板上开设有衬底放置槽，且衬底槽滑板能沿第一方向滑动设置在U形槽内；母液...
苗金水赵超禹董祎林虹宇蒋羽龙思宇付晓王海露张蕾胡淑红胡伟达
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王柳
作品数：14被引量：0H指数：0
供职机构：北京航空航天大学
研究主题：半导体薄膜技术 反应磁控溅射 迁移率 负极材料 片层
黄钦
作品数：7被引量：1H指数：1
供职机构：北京航空航天大学
研究主题：半导体薄膜技术 反应磁控溅射 迁移率 磁控溅射 沉积温度
毕晓昉
作品数：66被引量：43H指数：4
供职机构：北京航空航天大学
研究主题：磁控溅射 电子束物理气相沉积 饱和磁化强度 高硅 单质
阙端麟
作品数：237被引量：498H指数：11
供职机构：浙江大学
研究主题：硅单晶 直拉硅单晶 硅 氧沉淀 直拉硅
姚德成
作品数：28被引量：147H指数：6
供职机构：中国科学院大学
研究主题：单光子 镁 氢原子 激光诱导 密码学