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压力传感器和压力敏感芯片的谐振器结构及其调制方法
本发明提供了一种压力传感器和压力敏感芯片的谐振器结构及其调制方法,包括压电基底、电极以及SiO2覆盖层,电极设置在压电基底上,SiO2覆盖层覆盖电极及整个压电基底表面。通过调整SiO2覆盖层的厚度,对整个谐振器的温度特性...
韩韬单清川
一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法
本发明公开一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法,包括光纤、石英套管、高纯石英压力敏感元;石英套管内设有通孔,所述通孔内插入所述光纤;石英压力敏感元与石英套管连接。本发明能够适用于除氢氟酸和150℃以上的热磷...
王文华吴伟娜师文庆熊正烨付东洋田秀云谢玉萍罗元政赖学辉费贤翔
一种基于双内窥式压力敏感涂料的双转子表面压力测量系统及方法
本发明公开了一种基于双内窥式压力敏感涂料的双转子表面压力测量系统及方法,属于叶轮机械压力测量技术领域,主要包括:双内窥式光学压力敏感测量系统、“光电传感器+编码器”的双转子锁相系统以及双内窥式转子表面压力同步测量方法,其...
高丽敏王磊欧阳波张峻李瑞宇
氟化甲基丙烯酸酯改性压力敏感材料的制备及性能研究
2025年
氟化丙烯酸酯聚合物因其对氧气的敏感性高,光降解率低及温度敏感性低等优点在压力敏感涂料(PSP)中的应用越来越广。为了改善聚对叔丁基苯乙烯用作PSP基体聚合物的性能,采用自由基聚合法制备了氟化甲基丙烯酸酯单体与对叔丁基苯乙烯共聚物,通过核磁氢谱(^(1)H-NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)等测试手段对聚合物的结构和性能进行了表征。将共聚物与氧探针混合并喷涂制备了压力敏感涂层,对其氧传感性、压力敏感性、温度敏感性以及光降解性能进行了研究,筛选出最适合用作PSP基体聚合物衬底。结果表明:甲基丙烯酸六氟异丙酯与对叔丁基苯乙烯的共聚物综合性能最为优异,压力敏感性高(S_(p)=0.7154%/kPa),温敏感性低(S_(T)=-0.4978%/℃),光降解性较低(I_(d)=9.92%/h)。
刘家楹魏春华杨瑜珂蒋海林杨军校梁磊
一种单芯体压差传感器的压力敏感组件
本发明属于压力传感器领域,具体涉及一种单芯体压差传感器的压力敏感组件。单芯体压差传感器的压力敏感组件的结构方案较为复杂,焊接过程工艺可行性低。本发明单芯体压差传感器的压力敏感组件在套筒上端密封焊接盖板,在套筒下端外边缘密...
郭典向汪洪陈飞
一种SOI压力敏感芯片
本发明涉及一种SOI压力敏感芯片,SOI衬底硅正面设有倒梯形的微腔构成的感压膜片,其特征在于:衬底硅背面制有顶层硅围堰(1),感压膜片区域(4)制有敏感桥阻R1—R4;感压膜片区域对角制有一字型顶层硅互连线(2),其端部...
焦贵忠陈传钊盛健
一种压力敏感组件及压力传感器
本发明公开一种压力敏感组件,包括:一安装座,其具有一压力引入通道及由压力引入通道下端向内凹陷而形成的凹腔;波纹片;压力敏感元件;电子模块组件,其固定于所述安装座的上端表面;一温度敏感元件,其固定于所述压力引入通道内并朝下...
王小平曹万施涛
一种考虑参数不确定性的井壁失稳压力敏感性评价方法
本发明公开一种考虑参数不确定性的井壁失稳压力敏感性评价方法。首先通过室内岩芯实验和测井资料统计储层地质力学参数(主要包括地应力,孔隙压力及岩石力学参数)概率分布特征作为不确定性规律。并就线弹性理论下推导的任意井井周围岩失...
高佳佳陈福志边庚辰王哲林海杨卫东
基于压力敏感芯体的多通道压力扫描阀及其压力检测方法
本发明公开一种基于压力敏感芯体的多通道压力扫描阀及其压力检测方法,扫描阀包括电连接器、外壳、压力主体、信号处理电路板;所述外壳一侧固定设置电连接器,外壳另一侧固定设置压力主体,压力主体用于检测介质压力并反馈压力信息至信号...
佘姗姗徐欢
压力敏感芯片中硅岛的加工方法、压力敏感芯片及其制作方法和压力传感器
本发明公开了一种压力敏感芯片中硅岛的加工方法、压力敏感芯片及其制作方法和压力传感器,该加工方法包括依次对硅片进行清洗、背面制备SiO<Sub>2</Sub>层、在硅片内形成回形凹槽、对回形凹槽内的口形区域进行刻蚀,形成硅...
金忠薛勇何峰曾庆平

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李新
作品数:156被引量:321H指数:8
供职机构:沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题:压力传感器 压力敏感芯片 微全分析系统 集成化 SOI
王新海
作品数:257被引量:1,191H指数:16
供职机构:中国石油大学(北京)石油工程学院
研究主题:数值模拟 试井 数学模型 表皮系数 煤层气
揣荣岩
作品数:143被引量:117H指数:5
供职机构:沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题:应变电阻 沟道 压力传感器 晶体管 迁移率
李佳
作品数:62被引量:167H指数:8
供职机构:清华大学
研究主题:气膜冷却 燃气轮机 压力敏感 气膜 叶片
袁新
作品数:205被引量:771H指数:15
供职机构:清华大学
研究主题:数值模拟 气膜冷却 叶轮机械 压气机 NURBS