搜索到 篇“ 压阻式压力传感器 “的相关文章

相关作者

聂萌
作品数：121被引量：64H指数：6
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 压阻式压力传感器 灵敏度 高灵敏度 金属电极
黄庆安
作品数：918被引量：855H指数：13
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
梁庭
作品数：261被引量：363H指数：9
供职机构：中北大学
研究主题：压力传感器 高温压力传感器 无线无源 MEMS 光纤
张大成
作品数：246被引量：425H指数：10
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
刘理天
作品数：623被引量：885H指数：12
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械