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一种双频激光干涉仪多板卡时钟同步的方法
本发明提供一种双频激光干涉仪多板卡时钟同步的方法。所述方法为:主板卡参考光信号经过APD、I/V转换器、移相电路、波形转换模块后的信号作为时钟信号提供给ADC芯片,同时主板卡将经过I/V转换器的信号通过同轴电缆输出到副板...
杜浩高腾熊显名张文涛刁锡卿苏丁华李新建曾洁萍谷兴泉李承航
一种用于双频激光干涉仪的激光回路调整装置
本实用新型提供了一种用于双频激光干涉仪的激光回路调整装置,该方案包括有基座、调节平台、调节螺杆、钢珠和支杆;调节平台设置在基座上方;调节螺杆能够贯穿调节平台并与基座连接,通过旋转调节螺杆能够改变调节平台与基座之间的相对距...
黄志阳祝静冯飞郝翔邰中奎王培源贾琦邹飞
双频激光干涉多光路系统主轴误差测量及其比对方法研究
机床被誉为“工业母机”,是现代工业发展的重要基石。为保证机床的加工性能,对机床的主轴运动状态的监控和补偿变得极为重要。随着主轴精度检测越来越高的需求,动态检测方法已经替代传统静态检测方法,使主轴精度测试过程更加高效和可靠...
关裕
关键词:双频激光干涉
一种基于双频激光干涉仪的芯片外观检测系统和方法
本发明公开了一种基于双频激光干涉仪的芯片外观检测系统和方法,光源,光源用于发射两束正交偏振的双频激光;偏振片,偏振片用于控制激光光源的偏振状态,确保光源的偏振方向统一;棱镜组件,棱镜组件包括分光棱镜与角锥棱镜,用与将来自...
刘志平李煜胡鹏
基于双频激光干涉的一种可控负高压APD驱动电路设计
本发明提供基于双频激光干涉的一种可控负高压APD驱动电路设计的方法,所述方法为:DC/DC升压芯片对电压进行升压,二极管倍压电路对电压进行反向升压,输出负高压提供给APD正常工作,DC/DC升压芯片工作在正电压下,电流镜...
杜浩高腾熊显名张文涛苏丁华李新建刁锡卿
高速高分辨率双纵模双频激光干涉信号处理系统设计
2024年
文章针对目前双纵模双频激光干涉仪信号处理系统存在的抗干扰性能下降,难以高速测量和测量分辨率不高的问题,提出采用电学方法对干涉仪输出的测量和参考信号进行降频处理,获得所需的合适中频载波信号后,进行计数处理得出测量结果,这可以有效解决干涉仪的抗干扰能力,实现高速测量;采用AD8302直接比相加上D触发器构成极性判别电路,采取该方式可解决干涉仪的测量仪分辨率不高的问题。同时,设计了基于CPLD的计数模块,可实现信号的全流程处理高集成度完成。最终完成的双纵模双频激光干涉仪信号处理系统同时具有测速高(不小于1 m/s)、分辨率高(优于0.5 nm)和集成度高的突出优点,能较好地满足各种高速坐标加工及测试装备的纳米级高分辨率测量需求。
何浩明礼莹张涛李廷鹏
关键词:双频激光干涉仪分辨率信号处理系统CPLD
一种双频激光干涉测量系统的相位解算算法
本发明提供的是一种双频激光干涉测量系统的相位解算算法。所述方法为:参考信号经过光电转换后进行波形转换作为采样时钟,以参考信号转换后的采样时钟为基准对测量信号进行采样。对采样后的测量信号进行相位解算即可得到相位信号。本发明...
韩家广李新建张文涛杜浩熊显名苏丁华曾洁萍高腾刁锡卿谷兴泉李承航
外差式双频激光干涉位移测量信号处理系统研究
刘松香
一种基于频率疏的双频激光干涉测量系统的相位解算方法
本发明提供一种基于频率疏的双频激光干涉测量系统的相位解算方法。所述方法为:参考信号和测量信号经过模数转换后分别经过混频滤波模块、反正切模块、相位累加模块、速度补偿模块进行相位解算。对于测量信号,在多普勒频移的影响下,频率...
韩家广李新建张文涛杜浩熊显名苏丁华曾洁萍高腾刁锡卿谷兴泉李承航
一种双频激光干涉仪的相位解算方法
本发明提供的是一种双频激光干涉仪的相位解算方法。所述方法为:参考信号经过光电转换后进行4倍频和波形转换作为采样时钟,以参考信号转换后的采样时钟为基准对各测量信号进行采样。采样后的测量信号经过相位解算后可以得到相位信号。本...
曾启林徐乐杜浩张文涛熊显名赵正义郭昕陈文伟

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邹桂兰
作品数:8被引量:4H指数:1
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研究主题:光学角规 偏向角 双频激光干涉仪 测角 双频激光干涉
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作品数:206被引量:498H指数:13
供职机构:北京理工大学光电学院
研究主题:焦距测量 分划板 滤波技术 定焦 透镜
林家明
作品数:120被引量:301H指数:9
供职机构:北京理工大学光电学院
研究主题:CCD摄像机 CCD 光学角规 CCD摄像系统 图形发生器
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作品数:61被引量:22H指数:3
供职机构:北京理工大学
研究主题:测量方法 光纤 物镜 靶板 分划板
任建荣
作品数:13被引量:9H指数:2
供职机构:北京理工大学
研究主题:分划板 客观性 光学角规 偏向角 测角