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垂直面发射激光器
本发明涉及一种制造至少一个辐射发射器的方法,该方法包括以下步骤:在衬底的顶面上沉积蚀刻停止层;在蚀刻停止层上沉积层堆叠,该层堆叠包括第一接触层、第一反射器、有源区、第二反射器和第二接触层;局部去除层堆叠和蚀刻停止层,从而...
迪特尔·宾贝格冈特·拉里斯
垂直面发射激光器
公开一种垂直面发射激光器。根据本公开的垂直面发射激光器包括:下部镜;上部镜;活性层,设置在所述下部镜和所述上部镜之间;孔形成层,设置在所述上部镜和所述活性层之间,并且具有氧化层和被所述氧化层围绕的窗口层;环形的沟槽,...
李基煌俞炳秀卢正来
垂直面发射激光器
本发明的目的是提供一种垂直面发射激光器,其中,可以在不增加操作电压的情况下改善光输出。本发明提供一种垂直面发射激光器,该垂直面发射激光器依次包括第一多层膜反射镜、有源层和第二多层膜反射镜,第一多层膜反射镜和/或第二...
东谅磨前田修德田耕太星光成比平·苏贝迪
垂直面发射激光器
一种垂直面发射激光器,包括:具有主表面的衬底以及在主表面上安装的柱结构。该柱结构包括有源层和载流子限制结构。载流子限制结构包括第一区域以及具有比第一区域更低的电阻率的第二区域。第一区域具有边缘以及第一至第三参考线段。第...
大西裕吉永弘幸田中礼
垂直面发射激光器
本发明涉及VCSEL技术领域,尤其涉及一种垂直面发射激光器,包括激光器本体、耐高温绝缘层、加热丝和控温电路;耐高温绝缘层全覆盖在激光器本体的表面;加热丝全覆盖在耐高温绝缘层的表面;控温电路包括微处理器、运算放大器、A/...
张星
一种垂直面发射激光器
本实用新型公开一种垂直面发射激光器,涉及激光器技术领域,该垂直面发射激光器包括衬底以及依次层叠设置于衬底上的N型DBR层、MQW层、氧化层和P型DBR层,P型DBR层上划分有出光区域和电极区域,在出光区域上依次层叠设...
李虎叶柏林张立永
一种垂直面发射激光器
本实用新型公开一种垂直面发射激光器,涉及激光器技术领域,该垂直面发射激光器包括衬底、以及依次层叠设置于衬底上的N型分布式布拉格反射镜层、有源层、具有电流限制孔的氧化层、P型分布式布拉格反射镜层和透明导电层。该垂直面...
李虎叶柏林张立永
一种垂直面发射激光器
本发明公开了一种垂直面发射激光器,包括衬底、设置在衬底上的AlN层、设置在AlN层上且位于AlN层中部的N型欧姆接触层、设置在N型欧姆接触层上的谐振单元,以及P型电极和N型电极;谐振单元包括由下至上依次设置在N型欧姆接...
孟红玲贾晓卫
一种窄线宽垂直面发射激光器
本发明公开了一种窄线宽垂直面发射激光器,涉及光电技术领域,其技术方案要点包括激光器顶端、接触层、上DBR层、氧化限制层、有源区、衬底层、下DBR层和下金属层,激光器顶端包括氧化铝出光窗口区,氧化铝出光窗口区由高铝组分外...
王岩徐鹏飞
垂直面发射激光器及其制造方法
一种垂直面发射激光器,其包括半导体层的层堆叠。层堆叠包括形成台面的第一层子堆叠和在层堆叠的堆叠方向上与台面相邻的第二层子堆叠。第二层子堆叠的层在垂直于堆叠方向的方向上延伸超过第一层子堆叠的层。层堆叠的半导体层形成光学谐...
S·巴德尔U·魏希曼

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王立军
作品数:852被引量:1,526H指数:18
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:半导体激光器 垂直腔面发射激光器 激光器 高功率 半导体激光
宁永强
作品数:486被引量:853H指数:14
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:垂直腔面发射激光器 半导体激光器 激光器 垂直腔面发射半导体激光器 高功率
秦莉
作品数:437被引量:959H指数:16
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:半导体激光器 垂直腔面发射激光器 激光器 高功率 垂直腔面发射半导体激光器
刘云
作品数:330被引量:701H指数:15
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:半导体激光器 垂直腔面发射激光器 激光器 高功率 垂直腔面发射半导体激光器
关宝璐
作品数:114被引量:100H指数:6
供职机构:北京工业大学
研究主题:垂直腔面发射激光器 半导体光电子器件 波长可调谐 亚波长光栅 激光器