2025年1月24日
星期五
|
欢迎来到海南省图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
搜索到
163
篇“
声表面波压力传感器
“的相关文章
资源类型:
全部数字资源类型
期刊文章
政策法规
学位论文
专利
会议论文
标准
专著
科技成果
产品样本
科技报告
全部数字资源类型
全部数字资源类型
期刊文章
政策法规
学位论文
专利
会议论文
标准
专著
科技成果
产品样本
科技报告
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关度排序
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
声表面波
压力传感器
本发明公开了一种体积小、灵敏度高的
声表面波
压力传感器
,主要包括顶盖、贯穿有两个金属电极的基座,顶盖密封安装在基座上,基座设有
压力
传导通孔,基座的内
表面
密封固定有流体隔膜,流体隔膜覆盖
压力
传导通孔,基座、顶盖和流体隔膜之间...
叶学松
蔡秀军
方璐
夏宗仁
刘峰
王琼
文献传递
声表面波
压力传感器
本发明公开了一种体积小、灵敏度高的
声表面波
压力传感器
,主要包括顶盖、贯穿有两个金属电极的基座,顶盖密封安装在基座上,基座设有
压力
传导通孔,基座的内
表面
密封固定有流体隔膜,流体隔膜覆盖
压力
传导通孔,基座、顶盖和流体隔膜之间...
叶学松
蔡秀军
方璐
夏宗仁
刘峰
王琼
文献传递
声表面波
压力传感器
1992年
论述了
声表面波
压力传感器
的工作原理及设计方法,报导了研究结果:
传感器
在0~100kPa范围内具有良好的线性;其中一阶
压力
灵敏度为0.55×10^(-9)/(Pa·cm^(-2))。
陈显萼
姚海伦
李云雷
周建国
关键词:
声表面波
压力传感器
声表面波
压力传感器
1992年
李小鹏
关键词:
声表面波器件
压力传感器
传感器
一种无线无源
声表面波
压力传感器
及其制备方法
本发明公开了一种无线无源
声表面波
压力传感器
及其制备方法,此
传感器
具体包括衬底,所述衬底的中部位置设置有
压力
空腔;所述衬底的上
表面
设有压电薄膜,所述压电薄膜的上
表面
设置有第一
声表面波
器件,所述压电薄膜的下
表面
设置有第二
声
表...
车颜贤
曾庆平
宋轶佶
何峰
一种双模态
声表面波
压力传感器
及使用和制备方法
本发明涉及一种双模态
声表面波
压力传感器
及使用和制备方法,包括基底,基底中设有
压力
敏感腔;下层电极,下层电极被配置为接地;压电层,压电层材质为钒掺杂氧化锌薄膜,其上设有通孔,通孔连接下层电极使其实现接地;上层电极,上层电极...
马炳和
王楚翘
罗剑
声表面波
压力传感器
结构设计与敏感特性研究
声表面波
(SAW)
压力传感器
具有可无线无源测试、与微电子工艺兼容、耐高温、抗辐照等恶劣环境的优点,在汽车、石油、化工、工业监测、航空航天等许多领域均有着非常广阔的应用前景。本文针对SAW
压力传感器
的
压力
灵敏度(频率
压力
系...
杨云涛
关键词:
声表面波
压力传感器
一种无线无源
声表面波
压力传感器
及其制备方法
本发明公开了一种无线无源
声表面波
压力传感器
及其制备方法,此
传感器
具体包括衬底,所述衬底的中部位置设置有
压力
空腔;所述衬底的上
表面
设有压电薄膜,所述压电薄膜的上
表面
设置有第一
声表面波
器件,所述压电薄膜的下
表面
设置有第二
声
表...
车颜贤
曾庆平
宋轶佶
何峰
基于LGS热压键合的耐高温
声表面波
压力传感器
及解耦算法研究
飞行器在运行过程中发动机等部件通常处于高温高压的恶劣环境中,探究实时原位获取恶劣环境下力学参数,对于发动机叶片等关键部件的结构设计以及功能防护具有深远的影响。常规的硅基器件已经无法满足500℃以上高温环境下各种参数的测试...
薛涛
关键词:
热压键合
压力传感器
解耦算法
基于AlN的高温
声表面波
压力传感器
耐高温高压
压力传感器
在航空、石油以及汽车领域的应用越来越广泛,需求也越来越大,但中国对耐高温高压
压力传感器
的研究相对落后,国内市场的高端耐高温、高压
压力传感器
主要靠进口。世界各国对耐高温、耐高压的
传感器
的研究较为深入,但...
万江
关键词:
压力传感器
声表面波
文献传递
加载更多 ∨
相关作者
陈明
作品数:556
被引量:3,005
H指数:26
供职机构:上海交通大学机械与动力工程学院
研究主题:声表面波 金刚石薄膜 高速铣削 钻削 激光陀螺
李媛媛
作品数:150
被引量:158
H指数:7
供职机构:上海工程技术大学
研究主题:声表面波 声表面波传感器 称重 叉指换能器 把手
谭秋林
作品数:368
被引量:481
H指数:10
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 传感器 气体传感器 声表面波 无源
叶学松
作品数:224
被引量:255
H指数:9
供职机构:浙江大学
研究主题:声表面波 工作电极 植入式 微电极 参比电极
蔡秀军
作品数:540
被引量:4,136
H指数:36
供职机构:浙江大学医学院附属邵逸夫医院
研究主题:腹腔镜 肝切除术 腹腔镜肝切除术 腹腔镜胆囊切除术 腹腔镜技术
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张