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声表面波压力传感器
本发明公开了一种体积小、灵敏度高的声表面波压力传感器,主要包括顶盖、贯穿有两个金属电极的基座,顶盖密封安装在基座上,基座设有压力传导通孔,基座的内表面密封固定有流体隔膜,流体隔膜覆盖压力传导通孔,基座、顶盖和流体隔膜之间...
叶学松蔡秀军方璐夏宗仁刘峰王琼
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声表面波压力传感器
本发明公开了一种体积小、灵敏度高的声表面波压力传感器,主要包括顶盖、贯穿有两个金属电极的基座,顶盖密封安装在基座上,基座设有压力传导通孔,基座的内表面密封固定有流体隔膜,流体隔膜覆盖压力传导通孔,基座、顶盖和流体隔膜之间...
叶学松蔡秀军方璐夏宗仁刘峰王琼
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声表面波压力传感器
1992年
论述了声表面波压力传感器的工作原理及设计方法,报导了研究结果:传感器在0~100kPa范围内具有良好的线性;其中一阶压力灵敏度为0.55×10^(-9)/(Pa·cm^(-2))。
陈显萼姚海伦李云雷周建国
关键词:声表面波压力传感器
声表面波压力传感器
1992年
李小鹏
关键词:声表面波器件压力传感器传感器
一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法,此传感器具体包括衬底,所述衬底的中部位置设置有压力空腔;所述衬底的上表面设有压电薄膜,所述压电薄膜的上表面设置有第一声表面波器件,所述压电薄膜的下表面设置有第二表...
车颜贤曾庆平宋轶佶何峰
一种双模态声表面波压力传感器及使用和制备方法
本发明涉及一种双模态声表面波压力传感器及使用和制备方法,包括基底,基底中设有压力敏感腔;下层电极,下层电极被配置为接地;压电层,压电层材质为钒掺杂氧化锌薄膜,其上设有通孔,通孔连接下层电极使其实现接地;上层电极,上层电极...
马炳和王楚翘罗剑
声表面波压力传感器结构设计与敏感特性研究
声表面波(SAW)压力传感器具有可无线无源测试、与微电子工艺兼容、耐高温、抗辐照等恶劣环境的优点,在汽车、石油、化工、工业监测、航空航天等许多领域均有着非常广阔的应用前景。本文针对SAW压力传感器压力灵敏度(频率压力系...
杨云涛
关键词:声表面波压力传感器
一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法,此传感器具体包括衬底,所述衬底的中部位置设置有压力空腔;所述衬底的上表面设有压电薄膜,所述压电薄膜的上表面设置有第一声表面波器件,所述压电薄膜的下表面设置有第二表...
车颜贤曾庆平宋轶佶何峰
基于LGS热压键合的耐高温声表面波压力传感器及解耦算法研究
飞行器在运行过程中发动机等部件通常处于高温高压的恶劣环境中,探究实时原位获取恶劣环境下力学参数,对于发动机叶片等关键部件的结构设计以及功能防护具有深远的影响。常规的硅基器件已经无法满足500℃以上高温环境下各种参数的测试...
薛涛
关键词:热压键合压力传感器解耦算法
基于AlN的高温声表面波压力传感器
耐高温高压压力传感器在航空、石油以及汽车领域的应用越来越广泛,需求也越来越大,但中国对耐高温高压压力传感器的研究相对落后,国内市场的高端耐高温、高压压力传感器主要靠进口。世界各国对耐高温、耐高压的传感器的研究较为深入,但...
万江
关键词:压力传感器声表面波
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相关作者

陈明
作品数:556被引量:3,005H指数:26
供职机构:上海交通大学机械与动力工程学院
研究主题:声表面波 金刚石薄膜 高速铣削 钻削 激光陀螺
李媛媛
作品数:150被引量:158H指数:7
供职机构:上海工程技术大学
研究主题:声表面波 声表面波传感器 称重 叉指换能器 把手
谭秋林
作品数:368被引量:481H指数:10
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 传感器 气体传感器 声表面波 无源
叶学松
作品数:224被引量:255H指数:9
供职机构:浙江大学
研究主题:声表面波 工作电极 植入式 微电极 参比电极
蔡秀军
作品数:540被引量:4,136H指数:36
供职机构:浙江大学医学院附属邵逸夫医院
研究主题:腹腔镜 肝切除术 腹腔镜肝切除术 腹腔镜胆囊切除术 腹腔镜技术