搜索到 篇“ 多晶硅 “的相关文章

相关作者

孙伟锋
作品数:1,099被引量:553H指数:11
供职机构:东南大学
研究主题:多晶硅栅 栅氧化层 氧化层 金属 电路
严大洲
作品数:431被引量:153H指数:7
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 还原炉 氯硅烷
时龙兴
作品数:1,185被引量:344H指数:9
供职机构:东南大学
研究主题:多晶硅栅 氧化层 栅氧化层 金属 绝缘体上硅
陆生礼
作品数:864被引量:318H指数:10
供职机构:东南大学
研究主题:多晶硅栅 栅氧化层 氧化层 金属 绝缘体上硅
汤传斌
作品数:251被引量:86H指数:6
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 氯化氢 氯硅烷