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基于机器人的平面面形孔径拼接干涉测量装置及方法
本发明公开了一种基于机器人的平面面形孔径拼接干涉测量装置及方法,包括干涉仪、工业机器人以及坐标系建立组件,所述干涉仪能够通过连接工装安装在工业机器人上,所述坐标系建立组件包括参考件和校准件,所述校准件包括能够安装在工业...
李萌阳曹庭分蒋晓东周海张尽力全旭松易聪之
基于改进自适应粒群退火的孔径拼接干涉算法
2024年
本文提出一种基于改进自适应粒群退火的孔径拼接干涉算法,以补偿孔径拼接时产生的调整及定位误差。通过在粒群算法中引入自适应权重调整、动态自我认知调整以及退火算法,弥补了传统粒群算法容易陷入局部最优解的缺点,平衡了全局搜索及局部搜索能力。利用Zernike多项式仿真真实面形,结果表明本算法拼接所得面形能够很好地还原原始面形。采用6英寸口径平面镜进行测试,对比全口径干涉面形的测试结果,两者PV值与RMS值误差仅有1.49%与0.45%,远小于传统PSO算法误差的8.13%与0.96%。仿真结果表明,本文算法可以更好地弥补孔径调整及定位误差,准确还原原始面形信息。
蒋宸哲张雷洪徐邦联周智轩韩森张大伟徐春凤
关键词:粒子群算法子孔径拼接ZERNIKE多项式
光学自由曲面的孔径拼接干涉测量装置及方法
本发明公开了一种光学自由曲面的孔径拼接干涉测量装置及方法,该装置包括:激光干涉仪、可变相位补偿器和用于待测镜运动控制的多轴运动台。可变相位补偿器由双自由曲面镜和双楔板组成,用于实现每个孔径的大动态范围的相位补偿。系统...
李建欣宗毅于彩芸段明亮
一种一维轮廓测量辅助修正的孔径拼接干涉检测方法
本发明涉及一种一维轮廓测量辅助修正的孔径拼接干涉检测方法,该方法包括:先利用干涉仪,使用全局拼接算法拼接测量待测反射元件表面面形,获得拼接测试面,再利用一维轮廓测量设备测量待测反射元件在拼接区域中心线的一维轮廓L,之后...
黄秋实王占山吴桥宇余俊蒋励
一种基于自调整次选粒群的光学元件孔径拼接方法
本发明公开了一种基于自调整次选粒群的光学元件孔径拼接方法,包括:S1、通过算法及自动电控台配合CCD相机,采用圆形拼接方式将大口径平面镜相位面形自动分割为多个孔径,获取被测平面镜孔径;S2、解析被测孔径误差范围...
张雷洪蒋宸哲周智轩韩森徐凤春徐邦联张大伟
平面面形孔径拼接干涉测量装置与测量方法
一种平面面形孔径拼接干涉测量装置与测量方法,测量装置包括:平面干涉仪,平面干涉仪支架,安装平台,XY二维运动拼接位移台,俯仰偏摆角二维调节台,偏摆角测量系统,俯仰角测量系统,被测平面光学元件;本发明在平面面形孔径拼接...
唐锋卢云君王向朝郭福东
基于孔径拼接的大口径平面面形检测技术
随着精密光学元件制造技术的快速发展,大口径光学元件在国家各项重大科学工程中被广泛应用,随之对大口径光学元件面形检测技术提出更高的要求,现有的光学元件检测技术很难同时满足大口径、高精度的检测需求。孔径拼接是一种高精度、低...
南丹荣
关键词:大口径光学元件面形检测子孔径拼接误差补偿
孔径拼接光谱定标检测装置及其检测方法
本发明提供一种孔径拼接光谱定标检测装置及其检测方法,其中的检测装置包括:宽带光源、波分复用器件、耦合器、积分球和光谱仪;检测装置用于对大口径望远镜系统进行检测,望远系统包括主镜和次镜;宽带光源用于发射宽带光束至波分复用...
安其昌刘欣悦李洪文
一种基于定位标记的计算机可视化孔径拼接方法
一种基于定位标记的计算机可视化孔径拼接方法,包括:根据平面镜口径、形状以及干涉仪检测口径划分待测孔径的数量和位置;所有孔径的并集完全覆盖整个平面镜镜面区域,且至少确保每个孔径都存在重叠区域;根据划分的孔径位置,...
李昂王永刚孟晓辉王刚白云立陈思羽王培培
一种基于多项式拟合和交替优化的干涉孔径拼接方法
本发明公开了一种基于多项式拟合和交替优化的干涉孔径拼接方法,包括:利用泽尼克多项式消除所有孔径相位倾斜;构建孔径相位分布和孔径扫描位姿误差系数的交替迭代优化模型;计算所有孔径扫描位姿误差系数初始值;利用交替迭代...
李建欣孙晟遥宗毅

相关作者

王孝坤
作品数:167被引量:411H指数:13
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学检测 面形 子孔径拼接 非球面 大口径
张学军
作品数:894被引量:2,039H指数:22
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面形 残膜 大口径 甜瓜 光学加工
王向朝
作品数:825被引量:1,352H指数:19
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
唐锋
作品数:217被引量:100H指数:7
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
卢云君
作品数:72被引量:28H指数:5
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 光栅 投影物镜