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一种罐车内壁干法清洗装置及清洗工艺
本发明涉及罐车清洗技术领域,提出了一种罐车内壁干法清洗装置及清洗工艺,包括支撑座,位于支撑座内部的水泥罐;用于清洗水泥罐内部的干洗物料;设置在支撑座上的分料组件,用于将干洗物料按颗粒大小进行分料,干洗物料经过分料装置后按...
葛志民葛峥邓宇宁
一种用于石墨舟干法清洗的装置及使用方法
本发明提供了一种用于石墨舟干法清洗的装置及使用方法,装置包括反应室,反应室具有用于容纳石墨舟的反应腔,反应腔内设有偏置电极板和线圈盒,线圈盒的底板为介质板,介质板上分布有多个第一匀气孔,线圈盒内空间构成线圈腔,线圈腔内设...
袁刚黄如伟夏庆锋
抗病毒干法清洗工艺
本文提供了一种处理被病毒污染的材料的方法,所述方法包括将所述材料暴露于蒸气中,其中所述蒸气是通过加热和/或气化干法清洗溶剂产生,并且其中所述方法至少部分地灭活所述病毒。
R·本杰明A·里恩T·麦克斯韦
一种石墨舟干法清洗设备及清洗方法
本发明公开了一种石墨舟干法清洗设备及清洗方法,设备包括:清洗腔室、炉门、放电单元、真空单元、进气单元和偏置电压检测单元;清洗腔室的一端设有炉门,便于石墨舟进出清洗腔室,另一端与真空单元连接,实现清洗腔室内部抽真空;清洗腔...
邓新新黄嘉斌赵增超李明成秋云蔡先武
一种石墨舟干法清洗装置及清洗方法
本发明公开了一种石墨舟干法清洗装置及清洗方法,装置包括:清洗腔室、电极板、炉门、放电单元、真空单元、进气单元和光谱测试单元,石墨舟放置在清洗腔室内部进行清洗清洗腔室的一端设有便于石墨舟进出的炉门,另一端与真空单元连接,...
黄嘉斌邓新新赵增超李明成秋云蔡先武
基于微波等离子干法清洗氮化硅涂层的石墨舟清洗设备
本发明公开了基于微波等离子干法清洗氮化硅涂层的石墨舟清洗设备,该清洗设备包括安装框架,安装框架内设置有清洗仓,清洗仓上设置有多个微波模块,清洗仓通过真空导管与真空泵连通,清洗仓上设置有真空计,真空导管上设置有破真空阀门与...
苏宜鹏冼健威李南杰
基于微波等离子干法清洗氮化硅涂层的石墨舟清洗设备
本发明公开了基于微波等离子干法清洗氮化硅涂层的石墨舟清洗设备,该清洗设备包括安装框架,安装框架内设置有清洗仓,清洗仓上设置有多个微波模块,清洗仓通过真空导管与真空泵连通,清洗仓上设置有真空计,真空导管上设置有破真空阀门与...
苏宜鹏冼健威李南杰
一种基于微钳的激光解键合后的定位干法清洗方法
本发明涉及半导体清洗技术领域,尤其涉及一种基于微钳的激光解键合后的定位干法清洗方法。该方法包括以下步骤:获取激光光束作用于键合胶层后在冷却阶段透明载片的表面随时间变化的红外图像的集合,并对红外图像的集合进行处理,生成标识...
唐宁温穗琳唐霞
一种基于微钳的激光解键合后的定位干法清洗方法
本发明涉及半导体清洗技术领域,尤其涉及一种基于微钳的激光解键合后的定位干法清洗方法。该方法包括以下步骤:获取激光光束作用于键合胶层后在冷却阶段透明载片的表面随时间变化的红外图像的集合,并对红外图像的集合进行处理,生成标识...
唐宁温穗琳唐霞
一种石墨舟干法清洗装置
本发明公开了一种石墨舟干法清洗装置,包括真空腔以及设于真空腔内的第一电极板和第二电极板,第一电极板和第二电极板之间形成用于放置石墨舟的放置空间,第一电极板和第二电极板用于在通电状态下电离两者之间的工艺气体,真空腔上设有进...
张威李斯彭宜昌王成许烁烁

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贾宝申
作品数:76被引量:69H指数:4
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:激光 光学元件 激光清洗 高功率激光装置 大粒径
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作品数:72被引量:160H指数:8
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:光学元件 激光装置 激光 档案盒 洁净度
高东
作品数:21被引量:0H指数:0
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:工件 长焦距 亚微米颗粒 干法清洗 干法
郑万国
作品数:454被引量:951H指数:15
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:熔石英 激光 损伤阈值 片状放大器 激光放大器
袁晓东
作品数:477被引量:929H指数:14
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:熔石英 激光 光学元件 溶胶-凝胶 大口径