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基于量子增强的微悬臂梁光纤光栅微位移传感器
本发明公开了基于量子增强的微悬臂梁光纤光栅微位移传感器，其特征包括激光器、2×1耦合器、滤波器、掺铒光纤放大器、光纤偏振控制器、光纤偏振分束器、色散位移光纤、粗波分复用器、光纤隔离器、光纤布拉格光栅、微悬臂梁、平衡探测器...
赵春柳王武楠王海龙石岩陈君金尚忠
一种微悬臂梁传感器信号放大装置及其数控系统
本发明涉及传感器技术领域，本发明公开了一种微悬臂梁传感器放大装置及其数控系统。该微悬臂梁传感器信号放大装置，其包括壳体和电路板；壳体的第一面上设置有用于接入微悬臂梁传感器的接口；电路板的第一部件从壳体的第二面上插入壳体，...
罗淳丰于海涛王乃冬龙帆
基于磁增强检测外泌体的微悬臂梁传感器及方法
本发明涉及生物传感器领域，特别涉及基于磁增强检测外泌体的微悬臂梁传感器及方法。本发明提供的检测方法及其外加磁场的微悬臂阵列梁传感平台，可以克服传统检测上的一些限制，外加磁场后由于每个外泌体上结合的磁纳米颗粒在磁场中受到的...
张青川梅开男吴尚犬
一种基于微悬臂梁的液滴附着力检测系统
本发明涉及一种基于微悬臂梁的液滴附着力检测系统，具体包括激光器、微悬臂梁、微梁夹持台、微液滴注射器、注射器支架、光电探测器、显微摄像头、摄像头支架、数据采集卡和计算机等，所述微悬臂梁前端向前悬伸为自由端，所述微量进样器底...
薛长国冯贺周宁鸿王启明滕艳华谢阿田闵凡飞
用于产生微悬臂梁的超声塑化微注塑成型设备及使用方法
本发明提供了用于产生微悬臂梁的超声塑化微注塑成型设备及使用方法，涉及超声塑化成型，包括动模固定板、定模固定板、基板、保护套、模具组件和超声头，本申请利用基板形成对中部，对中部的外轮廓与保护套的内轮廓均为倾斜的面，利用斜面...
吴旺青单志颖苏伯恒黄家源
基于静电力的非接触式微悬臂梁刚度标定方法
2024年
微悬臂梁刚度的标定在工业和学术研究中有重要的意义。传统微悬臂梁标定方法存在粘附摩擦、接触磨损等缺点。为了有效解决传统刚度标定中接触摩擦的难题,本文提出一种基于静电力的非接触式微悬臂梁刚度标定方法。该方法将静电力作为标准载荷施加于微悬臂梁末端,基于胡克定律计算微悬臂梁刚度。对平行极板结构进行了数值模拟,结果显示微悬臂梁与参考极板的相对位置存在较小的偏差时,静电力偏差小于5%。静电力标定实验结果显示微悬臂梁刚度为0.344 N/m,相对测量不确定度为1.86%。该方法适用于微悬臂梁的刚度标定,对微纳力值研究领域具有重大意义。
张世玉赵聆喆于枚可赵美蓉郑叶龙
关键词：微悬臂梁静电力
一种基于微悬臂梁的光纤超声传感器、制备方法及系统
本发明公开了一种基于微悬臂梁的光纤超声传感器、制备方法及系统，涉及光学传感技术领域，包括单模光纤，单模光纤与多模光纤熔接，多模光纤的另一端面蚀刻有凹型微腔，多模光纤的另一端面还熔接有柚子型光子晶体光纤薄膜。激光经单模光纤...
邵志华梁瑞明乔学光康弯弯
一种微悬臂梁的制备方法
本发明提供一种微悬臂梁的制备方法，包括：提供一衬底，并在衬底的上表面外延生长Al<Sub>X</Sub>Ga<Sub>1‑X</Sub>As薄层；在Al<Sub>X</Sub>Ga<Sub>1‑X</Sub>As薄层的上...
高阳李春勇舒凯仇伯仓柯毛龙徐化勇冯欧
一种微悬臂梁触觉传感器及其制备方法
发明涉及一种微悬臂梁触觉传感器及其制备方法，包括：基座，基座的上表面向上凸起形成皱缩结构，皱缩结构的横截面沿皱缩结构的轴线方向自上至下先减小再增大；基座绕皱缩结构沿其周向设有多个沟槽，沟槽包括沟槽本体以及自沟槽本体延伸至...
王可军陈思远鲍冠宇马铭晨关宇昂张子豪王倩
一种硅微悬臂梁谐振器的制备方法
本发明涉及一种硅微悬臂梁谐振器的制备方法，(1)选用SOI材料(绝缘衬底上的硅)作为衬底材料；(2)制备出器件层；(3)形成图形化的金属层1#(04)；(4)采用深硅刻蚀(DRIE)工艺对顶层硅(03)进行刻蚀，得到最终...
屈怀泊谢强钟立志
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薛长国
作品数：119被引量：129H指数：6
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张青川
作品数：274被引量：420H指数：12
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研究主题：光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 动态应变时效 焦平面阵列
滕艳华
作品数：70被引量：82H指数：6
供职机构：安徽理工大学
研究主题：微悬臂梁 反应池 激光器 平面镜 激光束
吴尚犬
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供职机构：中国科学技术大学
研究主题：微悬臂梁 修饰 抗体片段 结合位点 细胞
伍小平
作品数：249被引量：804H指数：14
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 焦平面阵列 红外吸收