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微测辐射热计: 本实用新型提供了一种微测辐射热计，所述微测辐射热计包括：内部具有相对设置的两读出电路的衬底，所述读出电路用于根据一目标物体的红外辐射获取所述目标物体的温度；具有桥面及两个支撑柱的微桥结构，所述桥面用于吸收所述红外辐射，两...; 罗雯雯姜利军范延军马志刚潘峰钱剑钱良山

微测辐射热计及其制备方法: 本申请提供了一种微测辐射热计及其制备方法，在所述微测辐射热计中将吸气剂层集成在用于支撑热敏感层的支撑桥的桥面下方的基底上，可以采用MEMS工艺制备微测辐射热计以及吸气剂层，有利于优化微测辐射热计的制备工艺。此外，由于吸气...; 刘继伟胡汉林甘先锋史杰王兴祥

微测辐射热计的等效电路模型: 本发明的实施方式提供了一种微测辐射热计的等效电路模型。该模型包括：微测辐射热计电阻模型(10)，所述微测辐射热计电阻模型(10)包括连接电阻(Rconn)和敏感电阻(r)，微测辐射热计温度变化回路(20)，所述微测辐射热...; 谭果李煜郭健海方辉马丽丽

微测辐射热计和其制造方法: 本公开提供一种微测辐射热计，包括基板、配置于基板上方的读取电路层、配置于读取电路层上方的第一氧化钒层、配置于第一氧化钒层上的第二氧化钒层以及配置于第二氧化钒层上方的红外线吸收层，其中第二氧化钒层的含氧量高于第一氧化钒层的...; 周群渊

红外成像微测辐射热计: 本发明涉及一种集成有膜(20)的红外成像微测辐射热计(10a)，膜(20)借助于附接到锚钉(14)的保持臂悬在衬底(11)上方，红外成像微测辐射热计包括：·支撑层(13)，其在膜(20)和保持臂内延伸；·电极(16)，其...; 马克·纪劳蒙特威利·卢杜尔卡兹克

超表面在微测辐射热计中的应用: 2024年; 超表面突破了传统自然材料的电磁特性限制,同时也解决了三维超材料难以加工实现等瓶颈问题,使器件朝着集成化,小型化,低成本,可调谐的方向不断发展。目前超表面已在许多领域得到了较为广泛的应用,在探测器领域也越来越受到人们的重视,通过独特的材料、结构设计,超表面可有效完成电磁波各项特性的精确调控,通过超表面的集成,微测辐射热计在光吸收增强,器件波段选择改善等方面有了更多的可能性。本文针对超表面及其在微测辐射热计上的应用研究进行了阐述,展现了超表面在这一领域的发展趋势和广阔前景。; 杨君袁俊杨春丽王文金张杰李华妮; 关键词：微测辐射热计波段选择

一种双波段探测的微测辐射热计吸收结构: 本发明公开了一种双波段探测的微测辐射热计吸收结构。所述吸收结构包括下层中波红外吸收桥面结构和上层长波红外吸收桥面结构，下层桥面结构从下至上为金属钛薄膜、氮化硅薄膜、氧化钒薄膜、氮化硅薄膜、金属钛薄膜，上层桥面结构从下至上...; 吴志明罗子涵蒋亚东周泓希太惠玲陈超

基于3ω法的微测辐射热计像元薄膜热导率测试: 2024年; 热导是微测辐射热计像元的重要参数之一,其大小直接影响像元的响应高低。热导与组成像元的薄膜材料的热导率相关,薄膜的特征尺寸、温度和淀积工艺皆会影响热导率。监控工艺线上薄膜的热导率,对像元的设计具有重要意义。根据3ω谐波探测技术,搭建了薄膜热导率的测试系统,测试了厚度为20~100 nm的氮化硅(SiN x)及二氧化硅(SiO 2)薄膜的热导率,包括温度特性和尺寸特性。根据尺寸特性计算得到SiN x的本征热导率为0.747 W/(m·K),SiO 2的本征热导率为1.085 W/(m·K)。测得厚度为100 nm的钛(Ti)金属薄膜的热导率为6.708 W/(m·K)。与基于光热法的测试系统相比,基于3ω法的测试台架搭建更简单。该方法利用微机电系统(Micro-Electromechanical Systems,MEMS)制造工艺制备测试样品,是MEMS产品设计与制造中表征微纳尺度薄膜热导率的理想方案。; 柴星涛程龙史杰董珊陈文礼; 关键词：微测辐射热计

用于制造具有基于氧化钒的敏感材料的微测辐射热计的方法: 本发明涉及一种用于制造包括基于氧化钒(VO<Sub>x</Sub>)的敏感材料(15)的至少一个微测辐射热计(10)的方法，所述敏感材料包括氮作为附加化学元素，所述方法包括以下步骤：i.确定附加化学元素(N)的非零有效量...; 丹尼斯·珀朗格扎维埃·祖基克莱尔·维亚勒瓦莱丽·古东阿卜杜卡迪尔·阿利亚内

用于制造包括基于氧化钒的敏感材料的微测辐射热计的方法: 本发明涉及一种用于制造包括基于氧化钒(VO<Sub>x</Sub>)的敏感材料(15)的微测辐射热计(10)的方法，所述敏感材料包括选自硼(B)、碳(C)的除氮(N)以外的至少一种附加化学元素，所述方法包括以下步骤：i....; 丹尼斯·珀朗格扎维埃·祖基克莱尔·维亚勒瓦莱丽·古东阿卜杜卡迪尔·阿利亚内

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