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微电子机械系统被引量：2
2008年
微电子机械系统（Micro Electro Mechanical System）简称MEMS，是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理控制电路、接口、电源等于一体的机械装置。它将自然界各种物理量，如声、光、压力、加速度、温度以及生物、化学物质的浓度信息转化为电信号，并将电信号送入微处理器得到指令，指令被随即发送到微执行器上，对自然界的变化做出相应反应。MEMS的特点是体积小、重量轻、能耗低、可靠性高和可批量制造。
陈迪
关键词：微电子机械系统微系统技术微传感器
微电子机械系统被引量：12
2001年
概述了微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的特点、理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要ＭＥＭＳ器件和系统及这些器件在个人运载工具导航、系统监控与故障预防、环境感知、小型分析仪、生物医疗器械和航空航天等领域的应用。最后简述了ＭＥＭＳ技术的发展趋势与我国的发展现状。
李拴庆付士萍
关键词：传感器微电子机械系统执行器
保护罩构件、构件供给用片及微电子机械系统
提供的保护罩构件为在具备具有开口的面的对象物的前述面配置的构件，其由层叠体构成，所述层叠体包含：具有在前述保护罩构件配置于前述面时覆盖前述开口的形状的保护膜、和粘合层。将从与前述保护膜的主面垂直的方向看与前述粘合层一致的...
田中荣作井上健郎石井恭子
光开关及微电子机械系统
本实用新型公开一种光开关，包括波导芯片和连接波导芯片的光纤阵列，光纤阵列的连接端和波导芯片的连接端通过胶合层粘合连接，胶合层包括折射率匹配胶、无影固定胶和加固胶。安装过程中，将波导芯片安装于盒体内；将光纤阵列连接端伸入盒...
梁联长
文献传递
微电子机械系统的器件封装结构及其封装方法
本发明涉及芯片封装技术领域，具体为微电子机械系统的器件封装结构及其封装方法，包括上基板和下基板，所述上基板的顶部开设有若干个散热槽，所述散热槽的内部固定安装有若干个散热块，所述散热块的底部贯穿上基板并延伸至上基板的外部，...
程飞吴义恒
用于高光谱微电子机械系统的可调滤波器的校准装置和方法
根据目前公开的主题的一个方面，提供了一种装置，所述装置被配置为允许光照射到一可调滤波器上，每次照射到其不同部分，并检测光学响应(例如，被光照射的部分的传输或反射)。通过每次检测隔离照明对可调滤波器不同部分的光学响应，可调...
佩莱·莱文伊莱胡·查姆·阿什肯纳齐多尔·萨丹
基于微电子机械系统的可调量程的电容式微力测量传感器
本发明公开了一种基于微电子机械系统的可调量程的电容式微力测量传感器，能够实现单方向的范围较广的高精度微力测量。本发明的机械部分采用微电子机械系统和梳状电容结构，两个梳状电容的电容对数为50～200，具有很高的位移灵敏度。...
田延岭杨明旋王福军周重凯赵殿纯李兵臣马雪奇马越
文献传递
一种基于增益策略的微电子机械系统的控制方法及系统
本发明公开了一种基于增益策略的微电子机械系统的控制方法及系统，包括：根据微电子机械系统的内部运行机理，将系统的内部相关信息进行量化处理，建立微电子机械系统动态模型；建立控制器，实现系统信号渐近稳定控制的目标；将微电子机械...
朱菲李含丰段志宇张宪福常艳洁
文献传递
光开关、微电子机械系统及光开关安装方法
本发明公开一种光开关，包括波导芯片和连接波导芯片的光纤阵列，光纤阵列的连接端和波导芯片的连接端通过胶合层粘合连接，胶合层包括折射率匹配胶、无影固定胶和加固胶。安装过程中，将波导芯片安装于盒体内；将光纤阵列连接端伸入盒体内...
梁联长
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具有分开z轴部分的微电子机械系统（MEMS）质量块
除了其他情况之外，本发明讨论了用于包括分开z轴部分的微电子机械系统(MEMS)质量块。示例性质量块可包括中心部分，其被配置为将所述质量块锚定于相邻层；第一z轴部分，其被配置为使用第一铰链围绕第一轴旋转，所述第一轴平行于与...
C·阿卡
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黄庆安
作品数：918被引量：854H指数：13
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
高杨
作品数：327被引量：548H指数：12
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
杨拥军
作品数：169被引量：227H指数：8
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
张大成
作品数：246被引量：425H指数：10
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
贾建援
作品数：272被引量：1,153H指数：13
供职机构：中兴通讯股份有限公司
研究主题：微电子机械系统 MEMS 微通道 原子力显微镜 PETRI网