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氢掺杂的氧化铟锡薄膜、其制备方法和包含其的太阳能电池: 本申请提供了一种氢掺杂的氧化铟锡薄膜、其制备方法和包含其的太阳能电池，其中，氢掺杂的氧化铟锡薄膜具有(400)晶面取向的第一X射线衍射峰和(222)晶面取向的第二X射线衍射峰，第一X射线衍射峰的强度大于第二X射线衍射峰的...; 陈哲袁陨来杜海录王建波徐希翔

氧化铟锡薄膜表面粗化方法: 本发明提供一种氧化铟锡薄膜表面粗化方法，包括准备阶段和粗化阶段，其中，准备阶段将制备有氧化铟锡薄膜的晶圆放置于采用微波等离子体源的工艺腔室内，通入氧气与水蒸气，在第一工艺条件下使工艺腔室内形成氧气与水蒸气混合的气氛；粗化...; 李云鹏董乔

铜纳米线嵌入对氧化铟锡薄膜的柔性和导电性提升研究: 2024年; 氧化铟锡(ITO)薄膜是制备新一代柔性透明导电薄膜的关键材料,但差的导电性和机械柔性限制了其在柔性光电子器件中的实际应用。利用磁控溅射技术和喷涂工艺相结合的方法将铜纳米线(Cu NW)嵌入到ITO薄膜中,有效提高了ITO薄膜的导电性和机械柔性。采用扫描电子显微镜对ITO-Cu NW复合薄膜形貌进行了分析,利用紫外可见分光光度计和四探针测试仪分别对ITO-Cu NW复合薄膜的电学性能和光学性能进行了表征。结果表明,ITO-Cu NW复合薄膜的透光率为81.4%,方块电阻为12.1Ω/□,品质因子(137.0)远高于ITO柔性薄膜品质因子(46.3)。在8.0 mm的曲率半径下,对ITO-Cu NW复合薄膜进行了2000次弯曲测试,电阻基本不变,表明ITOCu NW复合薄膜具有优异的柔性性能。此外,在强氧化和高腐蚀环境中测试后,ITO-Cu NW复合薄膜的电阻没有发生明显变化,表明Cu NW嵌入并未影响ITO的稳定性。这些研究结果表明Cu NW嵌入是解决ITO柔性透明导电薄膜高电阻和固有脆性缺陷的一种有效方案。; 石和平闫光辉于仕辉; 关键词：透明导电透光性纳米线电学性能

氧化铟锡薄膜的磁感应热声分析: 2023年; 基于优良导体在磁场下的涡流效应理论和固体的热声效应理论,建立了氧化铟锡(ITO)导电薄膜磁-热-声效应的理论模型,推导了导电薄膜热致发声的温度振荡和输出声压表达式。对有基底的ITO导电膜进行了磁场下的热声理论计算和实验测试,结果表明:薄膜的温度振荡值随频率呈上升趋势,与电-热-声模型相比趋势相反;薄膜声压的理论值与实验值在频域内的变化趋势基本吻合,验证了理论模型的正确性。进而,根据磁-热-声的理论模型,分析了线圈相关参数对薄膜声压级的影响,结果表明:薄膜声压级随着线圈匝数的增加而增大,随着薄膜与线圈中心距离的增加而减小,随着线圈半径的增加而减小。文中的研究结果拓展了导电薄膜在扬声器等领域的应用。; 王成李双邱鑫范学良李成; 关键词：磁场热声效应声压级

氧化铟锡薄膜涂覆PCF-SPR传感器设计与性能研究: 近些年,光子晶体光纤表面等离子体共振(photonic crystal fiber based on surface plasmon resonance,PCF-SPR)传感技术已成为光纤传感领域最具有影响力的研究方向之...; 王古胜; 关键词：氧化铟锡

一种氧化铟锡薄膜的制备方法: 本发明公开了一种氧化铟锡薄膜的制备方法，包括：对基片进行预清洗处理，并对清洗后的基片进行烘干处理；其中，所述基片为陶瓷或玻璃；将烘干后的基片放入真空腔内，在真空度为1*10<Sup>‑6</Sup>Torr、机台转速为2...; 郎鑫涛; 文献传递

氧化铟锡薄膜表面粗化方法: 本发明提供一种氧化铟锡薄膜表面粗化方法，包括准备阶段和粗化阶段，其中，准备阶段将制备有氧化铟锡薄膜的晶圆放置于采用微波等离子体源的工艺腔室内，通入氧气与水蒸气，在第一工艺条件下使工艺腔室内形成氧气与水蒸气混合的气氛；粗化...; 李云鹏董乔

一种氧化铟锡薄膜的制备方法: 本发明提供了一种原子层沉积(ALD)制备氧化铟锡(ITO)导电薄膜的方法，通过ALD技术路径制备导电性、锡掺杂含量和薄膜厚度均可精准调控的ITO薄膜。本发明提供的方法包括：在含SiO<Sub>2</Sub>表面层的Si基...; 赵波柳俊

铝栅极降低氧化铟锡薄膜表面电阻: 2022年; 大面积钙钛矿电池组件效率一直比小面积电池最高效率低10%左右,其中透明导电氧化物(TCO)电极的横向电阻是构成串联电阻增加的主要因素。本文采用湿法刻蚀的方法在超白玻璃上制备了深达1-2μm的凹槽,横向宽度最小为10μm,随后蒸镀金属铝,射频溅射沉积氧化铟锡(ITO)薄膜,通过调控刻蚀各参数,得到良好的铝栅极形状。对比分析有无铝栅极的ITO薄膜,结果表明,有铝栅极的ITO薄膜相较无铝栅极的ITO薄膜,平均透过率下降约3.5%,横向电阻从17.4Ω降至2.4Ω,得到明显改善。并可通过调控刻蚀厚度,可使横向电阻进一步降低,从而显著提升ITO薄膜在太阳能电池领域里作为透明导电电极时横向电子收集能力,对以玻璃为基底的薄膜太阳能电池大面积产业化应用提供了可能。; 付潇潇郑卓王取泉李建民肖旭东; 关键词：超白玻璃湿法刻蚀氧化铟锡薄膜太阳能电池

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