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2025年3月25日星期二

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搜索到183篇“ 矢量水声传感器“的相关文章

MEMS磁电耦合矢量水声传感器研制: 2024年; 本文提出了一种基于磁电耦合原理和MEMS加工工艺的矢量水声传感器。该矢量水声传感器的MEMS敏感检测单元包括磁电耦合材料、八悬臂梁-中心质量块MEMS元件和永磁铁。采用电荷放大信号处理电路处理敏感检测单元产生的信号。通过对磁电耦合材料、MEMS元件和信号处理电路进行设计,使矢量水声传感器在工作时具有很高的灵敏度。通过声学灌封完成矢量水声传感器的制备,并对矢量水声传感器的性能进行了测试,测试结果表明:该矢量水声传感器的接收灵敏度在1 000 Hz时达到-180 dB(0 dB re 1 V/μPa)。; 宫占江孙立凯宋尔冬邵志强陈亚洲; 关键词：磁电耦合微机电系统灵敏度矢量水声传感器

矢量水声传感器: 本发明提供一种矢量水声传感器，包括基板、设置在基板上的矢量芯片、以及与矢量芯片相连的水声接收件。矢量芯片包括硅衬底、沿至少两个不同方向设置在硅衬底上的水声测量件、芯片引脚、TGV玻璃以及设置在TGV玻璃中的金属化过孔，T...; 史晓晶柳俊文; 文献传递

压电式MEMS一维矢量水声传感器研究: 海洋在对外开放及国家经济发展中占据重要地位，在维护国家主权，国家安全及国家发展利益中扮演重要角色。建设海洋强国，必须进一步认识海洋，加快海洋科技创新步伐。声呐技术是探索海洋的重要手段，水声传感器作为其核心部件，更是可以助...; 李芬; 关键词：水声传感器压电效应工作性能; 文献传递

矢量水声传感器: 本发明提供一种矢量水声传感器，包括基板、设置在基板上的矢量芯片、以及与矢量芯片相连的水声接收件。矢量芯片包括硅衬底、沿至少两个不同方向设置在硅衬底上的水声测量件、芯片引脚、TGV玻璃以及设置在TGV玻璃中的金属化过孔，T...; 史晓晶柳俊文; 文献传递

磁方位修正MEMS矢量水声传感器研制被引量：2: 2018年; 介绍了一种磁方位补偿微机电系统(MEMS)矢量水声传感器。采用电容原理MEMS技术构造内部振子,并与信号处理电路紧靠方式设计,可减小噪声干扰并抑制信号衰减。利用磁方位修正技术,对MEMS矢量水声传感器判定的方位进行修正,解决了单个矢量水声传感器定向精度不高问题。传感器完成了国家一级计量站标定和磁方位误差修正测试,测试结果验证了定向方法的可行性,矢量水声传感器可实现水下目标探测、定位及导航等任务。; 宫占江李金平毕佳宇孙立凯; 关键词：微机电系统矢量水声传感器水声探测

一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构: 本发明公开一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构，包括正方形框架和架设于所述正方形框架中央的“井”字形悬梁臂，所述“井”字形悬梁臂的各段梁由宽段和对称设置于所述宽段两侧的窄段组成，所述窄段上分别设置有阻值相等的压敏电...; 张国军丑修建刘俊; 文献传递

压电式MEMS仿生结构矢量水声传感器的研制: 随着推行海洋强国政策，加强海洋的开发、管理、利用以及控制等能力成为未来持续健康发展的重心，各国着重于研究矢量水声传感器。为了解决低频、远程、多目标物体识别，目前亟需解决的关键问题在于：探索、研究与发展矢量水声传感器实现微...; 贺婷; 关键词：压电效应仿生结构微电子机械系统水声传感器轴向灵敏度

基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器: 本发明涉及MEMS矢量水声传感器，具体是一种基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器。本发明解决了现有MEMS矢量水声传感器抗流噪声性能差、灵敏度低、抗冲击性能差、质量重、声阻抗与水不匹配、以及加工制作困难的问题。基...; 丑修建甄国涌薛晨阳张文栋陈婷婷杨杰; 文献传递

组合式MEMS三维矢量水声传感器被引量：1: 2015年; 针对小体积水下装置平台对声目标空间定位的高精度需求,在单个二维硅微MEMS仿生矢量水声传感器的基础上,提出一种组合式MEMS三维矢量水声传感器,解决当前二维矢量水声传感器不能实现对声目标进行空间定向的难题。该组合式MEMS三维矢量水声传感器包括由正交方向上两个四梁-柱体组成的二维水平检测单元。首先理论分析提出的组合式MEMS三维矢量水声传感器的空间定向原理,然后采用标准硅微加工工艺制作组合式MEMS三维矢量水声传感器样机。利用回转装置对加工出的组合式MEMS三维矢量水声传感器样机进行性能测试。测试结果表明,该组合式MEMS三维水声传感器在空间三个方向均具有良好的"8"字形指向性,可以实现对声目标的三维探测。; 郭楠张国军刘梦然简泽明张文栋; 关键词：矢量水声传感器指向性

三维MEMS单片集成矢量水声传感器: 本发明提供了一种性能更加优化的三维MEMS单片集成矢量水声传感器。本发明矢量水声传感器包括硅基座框架、十字形悬臂梁、圆形中间连接体、微型柱状体，十字形悬臂梁上设置有八个应变压敏电阻，八个应变压敏电阻分别组成检测X向和Y向...; 张国军宋小鹏李振薛晨阳熊继军张文栋; 文献传递

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薛晨阳: 作品数：808被引量：866H指数：14; 供职机构：中北大学; 研究主题：矢量水听器 MEMS 电极水听器心音

张文栋: 作品数：1,193被引量：1,677H指数：19; 供职机构：中北大学; 研究主题：矢量水听器 MEMS 加速度计电容式超声换能器

陈尚: 作品数：47被引量：143H指数：7; 供职机构：中国运载火箭技术研究院; 研究主题：矢量水声传感器飞行器 MEMS 硅空天飞行器

张斌珍: 作品数：291被引量：500H指数：11; 供职机构：中北大学信息与通信工程学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室; 研究主题：MEMS PDMS 聚二甲基硅氧烷 GAAS 微加速度计

熊继军: 作品数：775被引量：930H指数：12; 供职机构：中北大学; 研究主题：无线无源 MEMS 压力传感器传感器高温压力传感器