搜索到580篇“ 碰撞截面“的相关文章
- 等离子体刻蚀建模中的电子碰撞截面数据
- 2024年
- 半导体芯片是信息时代的基石,诸如大数据、机器学习、人工智能等新兴技术领域的快速发展离不开源自芯片层面的算力支撑.在越来越高的算力需求驱动下,芯片工艺不断追求更高的集成度与更小的器件体积.作为芯片制造工序的关键环节,刻蚀工艺因此面临巨大的挑战.基于低温等离子体处理技术的干法刻蚀工艺是高精细电路图案刻蚀的首选方案,借助等离子体仿真模拟,人们已经能够在很大程度上缩小实验探索的范围,在海量的参数中找到最优工艺条件.电子碰撞截面是等离子体刻蚀模型的关键输入参数,深刻影响着模型预测结果的可靠性.本文主要介绍了低温等离子体建模的基本理论,重点强调电子碰撞截面数据在数值模拟中的重要作用.与此同时,本文概述了获取刻蚀气体截面数据的理论与实验方法.最后总结了刻蚀相关原子分子的电子碰撞截面研究现状,并展望了未来的研究前景.
- 陈锦峰朱林繁
- 关键词：干法刻蚀低温等离子体
- 飞行时间质量分析仪中的碰撞截面测量
- 公开了一种飞行时间(ToF)质量分析仪，该ToF质量分析仪被配置为通过确定离子沿离子路径的飞行时间来确定离子的质荷比(m/z)。一种操作质量分析仪的方法包括：在第一操作模式下操作该质量分析仪；通过确定离子沿该离子路径的飞...
- H·斯图尔特D·格林菲尔德
- 一种测量离子碰撞截面和质荷比的静电阱装置及测量方法
- 本发明属于质谱技术领域，具体说是一种测量离子碰撞截面和质荷比的静电阱装置及测量方法，包括：数据采集模块、真空腔体A、真空腔体B、离子束发射器、离子透镜、反射镜电极组、感应电极组以及离子探测器；在所述真空腔室B内从左至右顺...
- 陈平李海洋陈懿曹艺雪文宇轩
- 傅里叶离子回旋共振质谱内部离子的碰撞截面积测量方法
- 本发明提供一种傅里叶离子回旋共振质谱内部离子的碰撞截面积测量方法，涉及质谱分析技术领域，本发明对FT‑ICR MS中离子的镜像电流时域数据进行预处理，滤除高斯噪声和闪烁噪声；根据预处理后的信号频谱，选择目标价态的离子对应...
- 李大宇范艳影雷荣榛
- 一种环保气体的分子碰撞截面预测方法及装置
- 本发明涉及分子碰撞技术领域，公开了一种环保气体的分子碰撞截面预测方法及装置。该方法通过脉冲汤逊实验获取待求气体的电子群参数，提取电子群参数的特征向量；通过获取待求气体的已知碰撞截面数据，并结合预设数据库中其他气体的碰撞截...
- 唐念孙东伟张博雅李智刘沛琼郝迈
- 基于傅里叶变换-离子回旋共振质谱的离子碰撞截面测量方法及应用被引量：1
- 2022年
- 傅里叶变换-离子回旋共振质谱(FT-ICR MS)具有较高的分辨率和串联质谱分析能力。离子在分析池中做回旋运动时,镜像电流会因离子与中性分子发生碰撞而逐渐衰减。基于此,通过选择合适的理论模型,并结合相应的算法,可推算出离子的碰撞截面(CCS)。该方法无需增加仪器硬件成本,可通过直接分析高分辨质谱数据获取离子结构信息。近年来,随着FT-ICR MS仪器的发展和推广,该方法得到快速发展。本文综述了此类方法使用的碰撞模型、利用时域和频域信号进行数据分析的不同方法及特点,虽然提供的离子CCS数据的可靠性和准确度有待进一步提高,但在离子的动态CCS测量以及离子异构化的研究中表现出独特优势。该方法可进一步与离子淌度技术相结合,借助FT-ICR MS较高的质量分辨能力和离子操控能力,提供多维度的离子结构信息。
- 张凯林徐诗音焦鲁杨杜梦颖燕昊毛钢钢李树奇孔祥蕾
- 基于离子阱质谱的离子碰撞截面积测量方法研究进展
- 2022年
- 近年来,随着分子结构分析需求的不断增加,开发离子阱质量分析器测量离子碰撞截面积的方法成为研究热点。该方法能降低仪器复杂度,并且能同时获得高分辨的质量和分子立体结构信息,逐渐成为与离子淌度谱(IMS)互补的测量碰撞截面积的有效手段。目前,已经实现了傅里叶变换离子回旋共振阱(FT-ICR)、轨道离子阱(Orbitrap)、四极离子阱(QIT)、静电线性离子阱(ELIT)测量离子碰撞截面积(CCS)。但该项技术仍存在诸多挑战,如分辨率不高、受气压因素影响、无法区分同分异构体等。本文阐述了离子与缓冲气体分子碰撞理论、不同离子阱质谱仪测量碰撞截面积的方法,并总结测量方法的优缺点,展望未来的研究方向。
- 向玉姜婷徐伟
- 基于离子淌度质谱的代谢物碰撞截面积测量方法和数据库研究进展
- 2022年
- 代谢组学旨在全面系统地分析复杂生物样本中的代谢物。近年来,离子淌度质谱(IM-MS)技术快速发展,为代谢组学分析提供了强大的技术支撑。离子淌度质谱根据代谢物的化学结构进行气相分离,其衍生的碰撞截面积(CCS)可作为一种新的物理化学性质,辅助用于鉴定已知和未知代谢物的化学结构。碰撞截面积在代谢组学中的应用需要确保对其准确测量,同时需要构建高覆盖、高准确的碰撞截面积数据库。本文旨在介绍常见的不同类型商业化离子淌度质谱及其对小分子代谢物碰撞截面积测量和校正的原理,归纳目前可用于代谢组学应用的碰撞截面积数据库,并展望碰撞截面积在代谢组学中的应用。
- 陈曦李彤洲朱正江
- 关键词：代谢组学
- 分子碰撞截面的预测方法、装置、设备及存储介质
- 本申请公开了一种分子碰撞截面的预测方法、装置、设备及存储介质，通过基于预设数据库中已有的多种气体的碰撞截面数据，生成多组碰撞截面集，并利用预设电子群参数计算工具，计算每组所述碰撞截面集的电子群参数，以实现利用已有气体的碰...
- 孙东伟李兴文周永言张博雅唐念郝迈
- 碰撞截面碎片离子的化学类组合物
- 本公开整体涉及用于使用碰撞截面碎片离子值来确定样品中存在的化学类组合物的方法。
- G.阿斯塔里塔S.杰罗马诺斯
相关作者
- 杨向东
- 作品数：421被引量：959H指数：16
- 供职机构：四川大学物理科学与技术学院原子与分子物理研究所
- 研究主题：H 相互作用势 势能函数 HE 分波截面
- 陈德应
- 作品数：264被引量：320H指数：9
- 供职机构：哈尔滨工业大学
- 研究主题：激光雷达 激光器 太赫兹 碰撞截面 激光
- 马祖光
- 作品数：127被引量：205H指数：8
- 供职机构：哈尔滨工业大学
- 研究主题：受激布里渊散射 二聚物 碰撞截面 激光振荡 激光
- 陈列文
- 作品数：54被引量：59H指数：5
- 供职机构：上海交通大学
- 研究主题：同位旋效应 对称能 重离子碰撞 中子星 中能重离子碰撞
- 邢永忠
- 作品数：69被引量：50H指数：4
- 供职机构：天水师范学院
- 研究主题：中能重离子碰撞 同位旋效应 同位旋分馏 重离子碰撞 对称势
