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搜索到494篇“ 离子束注入“的相关文章

一种用带状离子束注入工件的离子注入系统: 本实用新型公开一种用带状离子束注入工件的离子注入系统，所述离子注入系统采用高分辨率电磁铁分析器，高分辨率电磁铁分析器包括有围绕带状离子束的行进路径的弓形磁轭结构，所述高分辨率电磁铁分析器的出口一端外设置有具有狭缝的分辨槽...; 陈炯

一种基于离子注入机的离子束注入控制方法及装置: 本申请公开了一种基于离子注入机的离子束注入控制方法及装置，方法包括当检测到离子源射出第一离子束时，基于移动轨迹确定四极透镜的位置；根据位置依次校正波束扫描磁铁以及晶圆乘载盘，并控制离子源停止射出第一离子束；当检测到离子源...; 张力夫陈平阳谈益强

一种碳化硅双空位色心离子束注入方法及系统: 一种碳化硅双空位色心离子束注入方法及系统，涉及离子束注入技术领域，包括：建立氮离子注入碳化硅的分子动力学模型，以及分子动力学模拟结果数据库；基于分子动力学模拟结果数据库，建立氮离子注入碳化硅的RVE模型，以及有限元模拟结...; 刘胜韩旭周剑涛李瑞

一种扫描宽带离子束注入机: 本发明公开了一种扫描宽带离子束注入机，包括旋转靶盘以及用于形成扫描宽带离子束的扫描宽带离子束形成组件，所述旋转靶盘上设有与旋转靶盘中心重合的环形注入区域，所述环形注入区域内均匀布置有多个晶圆装载区，扫描宽带离子束形成组件...; 彭立波胡振东易文杰张赛王迪平袁卫华许波涛金则军

一种成形宽带离子束注入机: 本发明公开了一种成形宽带离子束注入机，包括用于产生成形宽带离子束的离子源、引出电极、分析器、带分析缝的分析光栏、平行透镜以及旋转靶盘，所述离子源、引出电极、分析器、分析光栏、平行透镜以及旋转靶盘依次布置，所述旋转靶盘上设...; 彭立波王迪平袁卫华许波涛胡振东金则军徐松张赛

抑制绝缘介质材料二次电子发射的离子束注入装置及方法: 本发明公开了抑制绝缘介质材料二次电子发射的离子束注入装置及方法，离子束注入装置包括真空弧离子束源系统、真空辅助系统和离子注入靶盘系统，所述真空弧离子束源系统包括离子束高压加速电源、离子束引出电源、等离子体电源、真空弧离子...; 何佳龙董攀刘飞翔李杰王韬赵伟张晓宁杨洁陈欣刘平石金水

一种花生横切氮离子束注入诱变的方法: 本发明提供了一种花生横切氮离子束注入诱变的方法，属于生物技术领域。本发明中的方法具体步骤如下：将完好的花生种子进行横切，直至在截面中央由两瓣子叶围成的空隙中可见胚芽，并留取胚所在半粒备用；将所获得的半粒种子的截面朝向束流...; 储文倪皖莉朱晓峰姜涛王嵩

一种带状离子束注入系统: 本发明提出一种带状离子束注入系统，包括离子束发生组件、离子束分离组件、离子束汇聚组件、离子束扩散组件及离子束调节组件，该带状离子束注入系统采用分离狭缝将带状离子束分离形成相互独立的离子束，并采用螺旋线圈对分离后的离子束进...; 彭强祥林家杰刘仁杰欧欣

一种基于离子注入机的离子束注入控制方法及装置: 本申请公开了一种基于离子注入机的离子束注入控制方法及装置，方法包括当检测到离子源射出第一离子束时，基于移动轨迹确定四极透镜的位置；根据位置依次校正波束扫描磁铁以及晶圆乘载盘，并控制离子源停止射出第一离子束；当检测到离子源...; 张力夫陈平阳谈益强

一种离子束注入系统: 本发明公开了一种离子束注入系统。包括：缝隙盖板队列模块和操纵器；离子源产生器缝隙盖板队列模块位于离子束真空腔室内，包括多个缝隙盖板；离子源产生器操纵器设置在离子束真空腔室外壁上，用于控制更换离子源产生器上的缝隙盖板；离子...; 冯天辰

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余增亮: 作品数：632被引量：3,177H指数：36; 供职机构：中国科学院合肥物质科学研究院; 研究主题：离子注入离子束水稻低能离子诱变育种

刘桂君: 作品数：54被引量：264H指数：10; 供职机构：北京市辐射中心; 研究主题：蛹虫草虫草素辐射诱变离子束注入铁皮石斛

秦广雍: 作品数：331被引量：1,668H指数：19; 供职机构：郑州大学; 研究主题：小麦离子注入离子束离子束介导水稻

房丰洲: 作品数：364被引量：427H指数：11; 供职机构：天津大学; 研究主题：刀具自由曲面光学测头超精密车削超精密加工

徐宗伟: 作品数：76被引量：83H指数：6; 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室; 研究主题：聚焦离子束原子力显微镜刀具金刚石刀具针尖