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- 用于大面积基板的聚焦离子束系统
- 公开一种用于切割电子装置的方法和设备。在一个实施方式中，描述一种用于在基板上切割电子装置的设备，所述设备包括用于支撑基板的平台，基板上具有电子装置；固定在平台上方的位置中的聚焦离子束柱，所述聚焦离子束柱适于在相对于基板的...
- 伯纳德·G·穆勒
- 聚焦离子束系统和方法
- 聚焦离子束系统和方法。提供了一种用于修改样品或工件表面的离子束系统，该系统包括：用于产生离子的离子源；离子束聚焦柱，该离子束聚焦柱被配置为引导从该离子源接收的离子以形成离子束，并将该离子束朝目标区域聚焦；以及样品台，该样...
- A·亨斯特拉G·格莱希尔
- 一种利用聚焦离子束系统制备并转移微纳尺度样品的方法
- 本发明涉及微纳材料制备技术领域，尤其涉及一种利用聚焦离子束系统制备并转移微纳尺度样品的方法，包括以下步骤：利用聚焦离子束切割大块样品的待切割表面,得到切割样品；使纳米机械针与所述切割样品固定，并带动所述切割样品旋转，对所...
- 郑少川王悦存左铃玲徐伟张朋诚单智伟
- 聚焦离子束系统虚拟仿真实验项目的建设与教学被引量：3
- 2021年
- 主要对聚焦离子束系统虚拟仿真实验教学项目的建设和教学实践进行了总结和探讨。本实验针对扫描电子显微镜观测和离子束刻蚀沉积的相关实验内容在本科教学中难以真实实现的现状,开发了聚焦离子束系统仿真实验,能够开展样品制备和装载、扫描电子显微镜观测样品、离子束刻蚀和沉积、图像采集和图像处理系列仿真实验。实验教学活动中明显突出了学生的主体性以及学生综合素质和创新能力的培养,用于实验教学后,受到学生好评,选课人数多,已获评国家级虚拟仿真实验教学一流课程。
- 张朋波张映辉付姚陈宝玖刘开颖刘伟殷燕李香萍夏文文邢明铭盛德元张秋红薛晓红
- 关键词：聚焦离子束系统大学物理实验实验教学教学改革
- 用于大面积基板的聚焦离子束系统
- 公开一种用于切割电子装置的方法和设备。在一个实施方式中，描述一种用于在基板上切割电子装置的设备，所述设备包括用于支撑基板的平台，基板上具有电子装置；固定在平台上方的位置中的聚焦离子束柱，所述聚焦离子束柱适于在相对于基板的...
- 伯纳德·G·穆勒
- 文献传递
- 聚焦离子束系统分析方法通则
- 聚焦离子束系统及改进聚焦粒子束加工的方法
- 申请人已发现，使用等离子体源的离子束系统中由高能离子与中性气体分子之间的电荷交换性相互作用产生的活跃中性粒子到达样本。这些活跃中性粒子产生了离开束冲击点的二次电子。解决这个问题的方法包括在该等离子源下方的多个差分泵送室以...
- T.米勒S.克罗格S.张M.马佐斯A.格劳佩拉
- 文献传递
- 基于聚焦离子束系统的He离子刻蚀制备石墨烯纳米带方法
- 本发明公开一种基于聚焦离子束系统的He离子刻蚀制备石墨烯纳米带方法，使用氢腐蚀平整均匀的台阶状SiC基底，获得晶面粗糙度小于0.2 nm的腐蚀后的台阶状的SiC基底，对腐蚀后的台阶状的SiC基底进行加热生长制备石墨烯，对...
- 王权邵盈李允任乃飞祝俊王雯张腾飞
- 文献传递
- 基于聚焦离子束系统的He离子刻蚀制备石墨烯纳米带方法
- 本发明公开一种基于聚焦离子束系统的He离子刻蚀制备石墨烯纳米带方法，使用氢腐蚀平整均匀的台阶状SiC基底，获得晶面粗糙度小于0.2nm的腐蚀后的台阶状的SiC基底，对腐蚀后的台阶状的SiC基底进行加热生长制备石墨烯，对生...
- 王权邵盈李允任乃飞祝俊王雯张腾飞
- 文献传递
- 用于聚焦离子束系统的离子源
- 2011年
- 介绍了现阶段两种用于聚焦离子束系统的离子源——液态金属离子源和气体场发射离子源的基本原理,并对比了它们的优缺点。由于目前这两种离子源都难以满足纳米加工领域不断提高的技术要求,因此提出了一种用于聚焦离子束的新型离子源——电子束离子源,并介绍了电子束离子源的基本原理,给出了设计参数、模拟结果(20kV的Ar+离子束,发射度约为5.8×10-5π.mm.mrad,束斑约为1μm)和初步的实验结果。
- 尚勇赵环昱
- 关键词：聚焦离子束系统液态金属离子源
相关作者
- 汪健如
- 作品数：33被引量：29H指数：3
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院电子工程系
- 研究主题：聚焦离子束 液态金属离子源 微细加工 聚焦离子束系统 测试台
- 董桂芳
- 作品数：108被引量：109H指数：7
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：电极 有机电致发光 有机薄膜晶体管 聚焦离子束 驱动电路
- 韩晓东
- 作品数：353被引量：138H指数：7
- 供职机构：北京工业大学
- 研究主题：透射电镜 透射电子显微镜 原子尺度 原位表征 纳米线
- 顾长志
- 作品数：320被引量：236H指数：9
- 供职机构：中国科学院物理研究所
- 研究主题：金刚石膜 衬底 金刚石 石墨烯 金刚石薄膜
- 李俊杰
- 作品数：241被引量：136H指数：6
- 供职机构：中国科学院物理研究所
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