搜索到 篇“ 自对准硅化物 “的相关文章

相关作者

徐秋霞
作品数：366被引量：64H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
钱鹤
作品数：89被引量：87H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SOI 刻蚀 自对准硅化物 淀积 集成电路
柴淑敏
作品数：17被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：自对准硅化物 快速热退火 退火处理 溅射 SOI
王阳元
作品数：465被引量：771H指数：13
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
奚雪梅
作品数：28被引量：29H指数：4
供职机构：加州大学
研究主题：SOI CMOS/SOI MOSFET CMOS 电路模拟