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- 基于蒙特卡罗的光栅衍射条纹强度仿真预测
- 2022年
- 为更形象、直观地展现光栅衍射现象,了解光栅衍射条纹强度变化情况,研究了基于蒙特卡罗方法和MATLAB的光栅衍射条纹强度预测方法。依照惠更斯-菲涅耳原理获取光栅衍射强度分布,利用蒙特卡罗方法随机模拟。采用MATLAB软件仿真研究光栅衍射条纹强度变化情况,通过各参数值变化获得相应衍射光强分布情况。研究时改变光栅缝数分析光栅衍射条纹主极大强度变化情况,改变光栅常数、缝宽以及波长等参数,分析光栅衍射条纹次极大强度变化情况。研究得出:光栅缝数越多,主极大越大,光栅衍射条纹强度越强,光栅衍射主极大强度受多条单缝衍射强度调制;光栅常数越大次级大强度分布密度越大,缝宽增加衍射现象变弱;波长变大光栅衍射谱线渐宽,锐度降低。
- 窦群
- 关键词：蒙特卡罗MATLAB光栅衍射条纹仿真
- 光掩膜版衍射条纹不良研究及改善分析
- 2022年
- 基于衍射条纹的产生机理,从图形设计和腔室环境方面提出改善措施,设置不同的重叠区与图形重叠占比、不同的重叠区位置类型以及不同腔室温度和相对湿度波动,观察版材的衍射条纹变化。试验表明,随着重叠区与图形重叠比例的增加,其衍射条纹不良的严重程度逐渐增加;与混合重叠区位置类型相比,采用单一重叠区位置类型在衍射条纹上表现更佳;腔室温度波动超过0.01℃、相对湿度波动超过32%时,聚焦气流波动超标,衍射条纹不良明显变严重。通过管控图形设计和光刻温湿度,在一定程度上可以降低衍射条纹的发生,对于其他条纹不良的改善也有一定的借鉴意义。
- 李文徐兵熊启龙徐智俊
- 关键词：衍射条纹温湿度
- 基于图像处理的衍射条纹提取尺寸的方法
- 本发明公开了一种基于图像处理的衍射条纹提取尺寸的方法，采用激光照射被测对象使其在接收屏上产生明暗相间的衍射条纹，用图像采集设备采集衍射条纹得到衍射条纹图像后，将衍射条纹图像划分为多个子区域，获取每个子区域内亮条纹的质心坐...
- 甘学辉刘香玉马晓建刘津廖壑张东剑张晓晓钱小敏
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- 文献传递
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- 一种太赫兹图像衍射条纹识别与定位方法及系统
- 本发明公开了一种太赫兹图像衍射条纹识别与定位方法及系统，首先是对太赫兹图像中含衍射条纹的区域进行识别，得到含有衍射条纹的多个局部图像，再对各局部图像进行衍射条纹的精确定位。对各边缘像素点e<Sub>ij</Sub>进行基...
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