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表面波等离子体
1999年
春声
关键词：表面波等离子体源
一种表面波等离子体发生装置及半导体工艺设备
本发明提供一种表面波等离子体装置，利用连接腔连接谐振腔和矩形波导，将螺钉探针经由矩形波导和连接腔伸入谐振腔内部，从而将微波能量馈入连接腔和谐振腔，通过在谐振腔的底壁设置多个石英窗口，使得微波在谐振腔内形成的驻波的电场能够...
昌锡江区琼荣韦刚黄亚辉
一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统
本发明提供一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统，其主要由微波发生与传输系统、微波功率测量系统、表面波发生器、不规则表面波导管和供气系统组成。微波发生与传输系统由微波功率源、环形器、双向定向耦合器、三销钉调配...
陈传杰彭东宇宋法根沈兆军周锋王如刚
多个等离子体源组合式表面波等离子体化学气相沉积装置
本发明属于微波等离子体法化学气相沉积领域，具体涉及一种多个等离子体源组合式表面波等离子体化学气相沉积装置。包括：5.8 GHz微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、铜天线、石英介质腔、不锈钢外壁、观察窗口、可水平转...
李成明 杨志亮 郭之健 刘宇晨 杨鏊魏俊俊陈良贤刘金龙张建军
一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统
本发明提供一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统，其主要由微波发生与传输系统、微波功率测量系统、表面波发生器、不规则表面波导管和供气系统组成。微波发生与传输系统由微波功率源、环形器、双向定向耦合器、三销钉调配...
陈传杰彭东宇宋法根沈兆军周锋王如刚
表面波等离子体装置
本发明提供一种表面波等离子体装置，包括谐振板，在谐振板的远离反应腔室的一个表面上形成有凹槽，该凹槽中可分离的填充有介质结构，用于调节反应腔室中的等离子体分布均匀性。本发明提供的表面波等离子体装置，其不仅可以提高调节等离子...
王桂滨韦刚
表面波等离子体加工设备
本发明提供一种表面波等离子体加工设备，其包括反应腔室、设置在反应腔室上方的中心谐振腔、设置在中心谐振腔与反应腔室之间的介质窗、用于向中心谐振腔传输微波的微波传输机构以及微波源机构，其特征在于，还包括边缘增强结构，用于增加...
赵晓丽
天线机构及表面波等离子体加工设备
本发明提供一种天线机构及表面波等离子体加工设备，该天线机构包括调整支架及由下而上依次叠置在调整支架上的介质窗、狭缝板和慢波板，狭缝板包括：狭缝本体，叠置在介质窗与慢波板之间；弹性结构，位于介质窗的外侧，且分别与狭缝本体和...
王乐赵晓丽
一种大气压表面波等离子体水处理装置
本发明公开了一种大气压表面波等离子体水处理装置，包括表面波等离子体发生器、放电腔室和水箱，所述放电腔室包括两个同轴嵌套的介质管，内管和外管之间设置有间隙；内管的一端设置有进气口，另一端设置有出气口；外管上设置有气体或者液...
陈传杰王媛媛孔维宾王如刚
表面波等离子体加工设备
本发明提供一种表面波等离子体加工设备，包括反应腔室和设置在反应腔室顶部的谐振腔，谐振腔的底壁设置有介质窗，还包括介质板，介质板设置于谐振腔的底壁的下方，其中，介质板在谐振腔的底壁上的正投影遮挡至少部分介质窗以及至少部分介...
王桂滨韦刚
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陈兆权
作品数：103被引量：45H指数：4
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研究主题：微悬臂梁 等离子体 表面波等离子体 表面波 双电源供电
王如刚
作品数：244被引量：150H指数：6
供职机构：盐城工学院信息工程学院
研究主题：微波信号 布里渊散射 绿光激光器 声光调制器 FPGA
刘明海
作品数：81被引量：236H指数：9
供职机构：华中科技大学
研究主题：无线 超材料 电能传输系统 无线电能传输 等离子体
徐涛
作品数：8被引量：2H指数：1
供职机构：上海工程技术大学
研究主题：表面波等离子体 传导电流 高密度等离子体 放电 开槽波导
胡希伟
作品数：49被引量：248H指数：9
供职机构：华中科技大学
研究主题：等离子体 低温等离子体 等离子体增强化学气相沉积 时域有限差分法 化学气相沉积