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一种基于多传感器的白光干涉表面轮廓仪及其使用方法
本发明提出一种基于多传感器的白光干涉表面轮廓仪及其使用方法，该表面轮廓仪由光学测头固定架、载物台、精密位移台、光学测头、白光干涉光学系统、白光光源、分光棱镜、显微物镜、准直物镜、参考靶标、管镜、光电传感器、主控板卡、温度...
李茂森张曦予唐馨雨杨含卓李孟阳代隆鑫叶嘉豪陈宇翔杜煜乐冯桂琳王雨璐何家豪刘明远刘俊西刘星权
一种高精度频域低相干光干涉式表面轮廓仪及测量方法
本发明涉及一种高精度频域低相干光干涉式表面轮廓仪及测量方法。装置包括低相干光源、2x2光纤耦合器、参考臂、探测臂、二维纳米线性位移台、光谱仪和上位机。探测臂高度可调，用于将探测光光斑聚焦于待测样件表面。二维纳米线性位移台...
张秋坤陈浩南钟舜聪林杰文王文铉
一种非接触式表面轮廓仪加温模块及测量方法
本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种非接触式表面轮廓仪加温模块及测量方法，包括保温炉主体、玻璃门、内部导热层、中部加热层和支撑构件；玻璃门与保温炉主体连接，并位于保温炉主体的一侧，内部导热层设置在保温炉主体内部，中...
秦红波俞泽炅黄剑胡正贵陈欣源梁振昊钟家伟
表面轮廓仪
描述了一种用于测量对象的轮廓的成像设备。设备包括多个可移动部件，其中，每个可移动部件具有接触对象的第一端部和包括荧光或磷光材料的第二端部。设备还包括外壳，该外壳容纳可移动部件，使得可移动部件能够在外壳内彼此平行移动，以根...
蒂莫西·伊萨克·约翰逊艾伦·格林迈克尔·欧文安德鲁·黑兹尔
轮廓仪法测量大镜面及纳精度表面轮廓仪研发
2023年
指出了表面轮廓仪法检测大尺寸光学反射镜的重要意义,论述高精度表面轮廓仪系列分类。新的第3代表面轮廓仪NSP研发解决了较深弯曲反射镜的超高精度测试难题。当ELCOMAT 3000/10自准直仪在50 mm固定距离精密较正后,NSP即可能达到50 nrad rms检测精度。
李剑白钱石南李小芸Mourad Idir
关键词：表面轮廓仪
一种触针式表面轮廓仪探针系统的制备方法及调校方法
本申请适用于微电子计量领域，提供了一种触针式表面轮廓仪探针系统的制备方法，其特征在于，包括：确定探针系统的材质和图纸，探针系统包括针尖和底座，针尖的材质为钨钢，底座的材质为铝；采用微细电火花加工方式对钨钢材料进行加工，制...
张晓东李锁印韩志国徐森峰赵琳许晓青吴爱华
一种简易微表面轮廓仪及其使用方法
本发明提供一种简易微表面轮廓仪及其使用方法，包括背板，背板上端面的一侧设置有夹板，夹板上沿长度方向依次分布开设有针孔，针孔均相互平行且平行于背板的板面，每个针孔内均滑动设置有钢针，且钢针长度统一。以解决现有采集设备造价高...
龙明忠林佳育李榜江敖子强
基于弱测量理论的超高精度光学元件表面轮廓仪
本发明公开基于弱测量理论的超高精度光学元件表面轮廓仪，包括光源发生器、前选择系统、测量系统、后选择系统，光源发生器，用于产生测量用的光束；前选择系统，用于获取光束的前选择态；测量系统，用于对光学元件表面粗糙度进行检测；后...
曲慧超肖芽韩鑫红顾永建
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一种触针式表面轮廓仪探针系统的制备方法及调校方法
本申请适用于微电子计量领域，提供了一种触针式表面轮廓仪探针系统的制备方法，其特征在于，包括：确定探针系统的材质和图纸，探针系统包括针尖和底座，针尖的材质为钨钢，底座的材质为铝；采用微细电火花加工方式对钨钢材料进行加工，制...
张晓东李锁印韩志国徐森峰赵琳许晓青吴爱华
基于弱测量理论的超高精度光学元件表面轮廓仪
本发明公开基于弱测量理论的超高精度光学元件表面轮廓仪，包括光源发生器、前选择系统、测量系统、后选择系统，光源发生器，用于产生测量用的光束；前选择系统，用于获取光束的前选择态；测量系统，用于对光学元件表面粗糙度进行检测；后...
曲慧超肖芽韩鑫红顾永建
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于翔
作品数：122被引量：150H指数：8
供职机构：中国地质大学（北京）
研究主题：金刚石薄膜 类金刚石 中频磁控溅射 掺杂 膜厚
任毅
作品数：18被引量：36H指数：2
供职机构：中国地质大学（北京）
研究主题：金刚石薄膜 中频磁控溅射 单晶 金属片 纳米晶体
陈莉
作品数：26被引量：25H指数：3
供职机构：大连理工大学
研究主题：探针 表面轮廓仪 电泳分离 MEMS 计算流体力学
阎秋生
作品数：419被引量：658H指数：11
供职机构：广东工业大学
研究主题：磁流变 抛光 抛光装置 磁流变抛光 表面粗糙度
许晓青
作品数：87被引量：30H指数：4
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：校准 测量不确定度 校准方法 线宽 椭偏仪