搜索到408篇“ 谐振式加速度计“的相关文章
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一种谐振式加速度计
本实用新型提供一种谐振式加速度计，包括：质量块结构(1)、锚点结构(2)、谐振器结构(3)、挠性筋(5)；质量块结构(1)之间通过两个平行的谐振器结构(3)连接；锚点结构(2)两侧通过两个挠性筋(5)连接在两个质量块结构...
段嘉晟张博文郭雪涛闫鑫张习文
一种双轴谐振式加速度计
本发明涉及加速度计技术领域，公开一种双轴谐振式加速度计，包括：中心连接块；两个第一方向加速度检测组件，每个第一方向加速度检测组件均包括依次相连的一个第一质量块、两个第一杠杆以及一个第一谐振梁；两个第二方向加速度检测组件，...
董自强刘贻兵柳星普张铭昭高杰
T型模态耦合谐振式加速度计
本发明涉及T型模态耦合谐振式加速度计，包括敏感质量块，敏感质量块通过T型谐振器与锚点连接，T型谐振器用于实现对加速度的检测以及实现预警功能；T型谐振器包括水平梁和垂直梁，水平梁的一端固定在锚点上，另一端与敏感质量块连接，...
李磊武焕臣洪逸飞李英蕊
一种双轴检测MEMS谐振式加速度计
本发明提供一种双轴检测MEMS谐振式加速度计，双轴检测MEMS谐振式加速度计包括敏感质量块、解耦结构、杠杆结构、谐振器和静电激励及检测结构，其中解耦结构包括三个解耦梁、两个弓形梁和连接块，所有梁均在同一平面内。杠杆结构包...
庄须叶苗家齐李平华律明琛刘阳
一种低温度敏感性谐振式加速度计结构
本发明公开了一种低温度敏感性谐振式加速度计结构，包括硅结构层，硅结构层包括敏感质量块、一级杠杆放大机构、方向限定机构、两个双端固定音叉谐振器，两个双端固定音叉谐振器紧邻布置，每个双端固定音叉谐振器的一端均通过一个方向限定...
高阳孟琳刘洋洋张嘉超焦良葆曹雪虹
一种石墨烯双轴差分式谐振式加速度计
本申请公开了一种石墨烯双轴差分式谐振式加速度计，包括敏感质量块、谐振组件和中部镂空的固定框架，敏感质量块设置在固定框架的镂空区域内，在敏感质量块与固定框架之间沿X轴和Y轴方向分别设置谐振组件，每个谐振组件均包括H型梁、横...
肖暘胡峰秦石乔张宇辰郑佳兴王省书
一种基于双输出杠杆的MEMS谐振式加速度计
本发明提供一种基于双输出杠杆的MEMS谐振式加速度计，四个第一锚点、两个第二锚点与一个第三锚点均固定在衬底上，四个第一锚点分别通过质量块导向梁连接在质量块四个角上；音叉端、第三锚点位于质量块中心；四周的第一锚点与质量块导...
何江波赵文胜李蓉
一种静电谐振式加速度计及加速度测量方法
本发明提供一种静电谐振式加速度计，该加速度计包括质量块和至少一个谐振器，所述谐振器上设置有电极，所述质量块为导体，所述质量块与所述谐振器之间被施加一定的直流电压，使谐振器受到一定的静电力，在某一频率下处于谐振状态。本发明...
何高法周明举孟杰
一种硅微谐振式加速度计的零偏误差抑制方法
本发明公开了一种硅微谐振式加速度计的零偏误差抑制方法，采用基于滑动平均的增量式连续时间戳计数法对谐振频率信号完成测量，建立零偏漂移补偿模型，在线补偿温漂引起的零偏漂移，实现零偏误差的抑制；所述增量式连续时间戳计数法：取消...
黄丽斌梅家豪丁徐锴赵立业
基于双层静电弱耦合效应的石墨烯谐振式加速度计装置
本发明公开了一种基于双层静电弱耦合效应的石墨烯谐振式加速度计装置，提出了一种三层结构方案：上层为透明玻璃基底，中层为石墨烯加速度敏感结构，下层为透明玻璃基底。上层透明玻璃基底由锚点、信号引线、栅极电极、引出电极组成，与中...
杨波梁卓玥张婷
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黄丽斌
作品数：139被引量：183H指数：10
供职机构：东南大学
研究主题：硅 谐振式加速度计 加速度计 谐振式 陀螺仪
李宏生
作品数：211被引量：321H指数：9
供职机构：东南大学
研究主题：硅 谐振式加速度计 硅微陀螺仪 陀螺仪 零偏
杨波
作品数：255被引量：293H指数：9
供职机构：东南大学
研究主题：加速度计 硅微陀螺仪 硅 谐振式加速度计 陀螺仪
苏岩
作品数：295被引量：264H指数：9
供职机构：南京理工大学
研究主题：陀螺 单晶硅片 硅 加速度计 玻璃衬底
裘安萍
作品数：176被引量：271H指数：11
供职机构：南京理工大学
研究主题：单晶硅片 硅 玻璃衬底 硅微陀螺仪 谐振式加速度计