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GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器及工艺的研究
Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料GaSb及其四元化合物半导体GaInAsSb材料均为具有闪锌矿结构的直接带隙半导体材料,因此在制造发光二极管、激光二极管和光电探测器方面具有较大的应用潜力,故而引起了人们关注。GaInAsSb材料...
刘延祥
关键词:红外探测器欧姆接触增透膜半导体材料
文献传递
GaInAsSb/GaSb红外探测器抗反膜的研究被引量:1
2005年
简单介绍了单层抗反膜的增透原理,并以Si片作为基片采用磁控溅射的方法制备了A l2O3、SiO2和ZrO2三种抗反膜。膜层的反射率测试结果表明:生长ZrO2膜后表面反射率下降可达30%;同时通过对GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器蒸镀抗反膜前后的器件的I-V特性及黑体探测率的测试表明:蒸镀ZrO2膜后GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器的黑体探测率平均提高了60.28%,远大于蒸镀A l2O3、SiO2后的48.91%和40.04%,说明ZrO2膜是一种较理想的单层抗反膜,使器件性能有所提高。
刘延祥夏冠群唐绍裘李志怀程宗权
关键词:GAINASSB/GASB
CH3CSNH2/NH4OH钝化GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器
2005年
引入一种新的低毒化合物CH3CSNH2/NH 4OH对GaInAsSb化合物探测器的表面进行了钝化处理,可使其暗电流降低一个数量级,动态电阻增大25倍多,且钝化83天后保持良好的钝化效果,取得了与(NH4)2S溶液一样理想的钝化效果.并采用AES和XPS对钝化前后的GaInAsSb材料进行了分析.
刘延祥唐绍裘夏冠群程宗权郑燕兰
关键词:GAINASSB钝化
GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器及其Ⅰ-Ⅴ特性的研究被引量:1
2004年
本文简单介绍了GaInAsSb/GaSb PIN探测器的结构及工作原理,重点分析了生长窗口层和硫钝化两种不同的改善探测器Ⅰ-Ⅴ反向偏软的特性的方法。
刘延祥夏冠群唐绍裘程宗权
关键词:红外探测器I-V特性禁带宽度
CH<,3>CSNH<,2>/NH<,4>OH钝化GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器的研究
本文引入一种新的低毒化合物CH<,3>CSNH<,2>/NH<,4>OH对GaInAsSb化合物探测器的表面进行了表面钝化处理,可使其暗电流降低一个数量级,动态电阻增大25倍多;且钝化83天后保持良好的钝化效果,取得了与...
刘延祥夏冠群唐绍裘程宗权郑燕兰
关键词:GAINASSB红外探测器
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GaInAsSb/GaSb Long Wavelength Mid-IR Detectors
<正>As one of the important materials systems in theapplication of mid-IR.GalnAsSb has shown its promisingusage...
Binhe Wu. Guanqun Xia. Zongquan Cheng. Dangli Liang. Zhihuai LiShanghai Institute of Metallurgy 865 Changning RD. Shanghai 200050
文献传递
GaInAsSb/GaSb异质结的MOCVD生长及掺杂研究
Ⅲ-Ⅴ族Sb化物由于在红外光源与探测领域的重要应用而得到了广泛重视,本文用MOCVD技术外延生长了GaInAsSb/GaSb异质结材料,研究了其生长特性,掺杂特性,并对材料中的位错特性进行了探索.1 GaInAsSb四元...
张子旸
关键词:MOCVD异质结掺杂位错
文献传递
Advances in low-bandgap InAsSbP/InAs and GaInAsSb/GaSb thermophotovoltaics
Mauk, M.G.
3.4 μm Diode Lasers Employing Al-Free GaInAsSb/GaSb MQW Active Regions at 20℃
Mid-infrared (3-5 μm) diode lasers are important for a wide range of applications, including gas sensing. GaSb...
Hari P. Nair
Toward an AlGaAsSb/GaInAsSb/GaSb laser emitting beyond 3 μm
We have made quantum wells laser diodes by Molecular Beam Epitaxy with emission wavelengths from 2.3 μm to 3.1...
Julie Angellier

相关作者

刘延祥
作品数:43被引量:21H指数:4
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 红外探测器 金字塔结构 中心波长
唐绍裘
作品数:122被引量:987H指数:16
供职机构:湖南大学材料科学与工程学院
研究主题:陶瓷 金属基 纳米TIO 溶胶-凝胶法 陶瓷粉末
夏冠群
作品数:140被引量:239H指数:7
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:砷化镓 GAAS MESFET 离子注入 红外探测器
程宗权
作品数:18被引量:8H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外探测器 GAINASSB 光电探测器 化合物半导体 GAINASSB/GASB
郑燕兰
作品数:38被引量:28H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:分子束外延 MBE生长 锑化物 INGAASSB 激光器