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MEMS器件可靠性评价标准分析及建议
2024年
本文研究了MEMS器件的失效模式和失效机理,进行了归纳总结;基于其模式和失效机理,分析了MEMS器件的可靠性试验项目和相关试验标准,总结了可靠性试验现状。最后,针对以上情况对MEMS器件可靠性试验的标准体系建设和完善提出了建议,进行了展望。
尹丽晶张魁崔波
关键词：MEMS器件可靠性
一种MEMS陀螺仪及MEMS器件
本发明涉及微机系统MEMS和微惯性测量技术领域，具体涉及一种MEMS陀螺仪及MEMS器件。所述MEMS陀螺仪包括硅基衬底、振环、若干个悬臂梁、若干个质量块和若干个金属薄膜电极，所述硅基衬底上设有圆孔，以所述圆孔内侧壁作为...
陈李谭军韦素兰
MEMS器件的制备方法及MEMS器件
本申请实施例涉及一种MEMS器件及其制备方法，包括：提供器件基板，其第一表面侧形成有第一器件结构、第二器件结构、以及凸起结构；提供封盖基板，其第三表面侧形成有第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽、以及连通通道；在第一外部环境下将...
王红海
MEMS器件的制备方法及MEMS器件
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王红海
一种MEMS器件的封装方法及MEMS器件
本申请公开了一种MEMS器件的封装方法及MEMS器件，封装方法包括：提供一硅框架，将硅框架键合于控制芯片的顶面，其中，控制芯片的顶面设有第一导电部；在硅框架的顶面形成第一通孔和凹槽，并将器件芯片设置于凹槽中，其中，第一通...
朱怀远高建章林友玲郭姝
一种基于SOI与SiC的耐高温MEMS器件及其制备方法
本发明公开的一种基于SOI与SiC的耐高温MEMS器件及其制备方法，属于先进制造技术领域。本发明包括SiC、金属引线、金属电极、氧化硅绝缘层、SOI的器件层、SOI的埋氧层、SOI的基底层和空腔。SOI晶圆由三层结构组成...
汤跃谢会开岳晋标杨智文魏振南
一种基于压缩感知与遗传算法的MEMS器件优化设计方法
本发明公开了一种基于压缩感知与遗传算法的MEMS器件优化设计方法，包括如下步骤：根据具体MEMS器件设计需求与目标，确定待优化设计参数与优化目标；根据器件物理行为模型，使用压缩感知算法求解各个优化目标函数的多项式混沌展开...
耿天豫周再发赵临风
MEMS器件和制造MEMS器件的方法
本发明涉及MEMS器件和制造MEMS器件的方法。该MEMS器件包括：处理层，包括至少一个腔和至少一个悬挂结构；第一器件层，包括至少一个静态电极；第二器件层，包括可移动地悬挂在第一器件层上方的至少一个感震元件；以及盖层。至...
阿尔蒂·托尔凯利福光政和安斯·布卢姆奎斯特马蒂·柳库维莱-佩卡·吕特克宁大川忠行基尔皮宁·彼得里
MEMS器件的制作方法以及MEMS器件
本申请提供了一种MEMS器件的制作方法以及MEMS器件，该方法包括：提供基底，基底包括衬底、阻挡层、牺牲层以及导电结构，其中，阻挡层包括本体部以及多个凸出部，本体部位于衬底上，多个凸出部间隔的位于本体部远离衬底的表面上，...
万星星王晋郝伟倩俞开园高晋文郭佳惠
MEMS器件和电路器件的集成结构及其制造方法
本发明提供一种MEMS器件和电路器件的集成结构及其制作方法，所述方法包括：提供一衬底，包括下层的支撑层，上层的器件层以及位于所述支撑层和器件层之间的绝缘层；在所述器件层中形成微机械结构，所述微机械结构包括固定部分和可动部...
李小刚
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季锋
作品数：106被引量：3H指数：1
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供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
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作品数：82被引量：4H指数：1
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：MEMS器件 外延层 发射区 介质层 硅片
李伟华
作品数：276被引量：191H指数：7
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
张大成
作品数：246被引量：425H指数：10
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合