刘永生
作品数： 6被引量：13H指数：3
  • 所属机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

李庆祥
作品数：210被引量：1,362H指数：14
供职机构：清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题：集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
薛实福
作品数：56被引量：96H指数：5
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：集成电路 力传感器 原子力显微镜 显微镜 线宽
于水
作品数：25被引量：160H指数：4
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：力传感器 原子力显微镜 显微镜 自动调焦 柔性铰链
徐毓娴
作品数：51被引量：319H指数：9
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：显微镜 相移干涉术 力传感器 原子力显微镜 图像处理
高宏
作品数：16被引量：49H指数：4
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：显微镜 光学轮廓仪 力传感器 原子力显微镜 表面粗糙度
作品列表