-
闫江
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 唐波
- 作品数:186被引量:10H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
- 唐兆云
- 作品数:75被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 衬底 空腔 集成度 刻蚀
- 许静
- 作品数:146被引量:4H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 衬底 隧道结 磁矩 沟道
- 李俊峰
- 作品数:514被引量:7H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
- 李春龙
- 作品数:132被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度