韩传余
作品数: 8被引量:4H指数:1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

王守国
作品数:103被引量:131H指数:8
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:常压 等离子体 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
赵玲利
作品数:64被引量:79H指数:4
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 常压 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
杨景华
作品数:43被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
张朝前
作品数:19被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 常压等离子体 绝缘介质 自由基 等离子体发生器
吴元伟
作品数:1被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:空气隙 多孔 低K介质材料 低K介质 等离子体损伤