-
于海涛
-
-
- 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 李昕欣
- 作品数：536被引量：376H指数：10
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
- 许鹏程
- 作品数：96被引量：52H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 气体传感器 芯片 纳米线
- 徐铁刚
- 作品数：23被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：进样 传感器 PCR方法 高粘度 芯片结构
- 刘民
- 作品数：34被引量：29H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：加速度计 测试装置 接口电路 锁相环 悬臂梁
- 陈滢
- 作品数：26被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：加热元件 微悬臂梁 传感器 压阻 金属氧化物
