-
林黎蔚
-
-
- 所属机构:四川大学
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:一般工业技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 刘波
- 作品数：89被引量：144H指数：6
- 供职机构：四川大学
- 研究主题：阻挡层 扩散阻挡层 SUB 超深 铜互连
- 任丁
- 作品数：29被引量：14H指数：2
- 供职机构：四川大学
- 研究主题：多孔硅 阻挡层 SIC涂层 SI 氢
- 张彦坡
- 作品数：19被引量：0H指数：0
- 供职机构：四川大学
- 研究主题：扩散阻挡层 超深 SUB 阻挡层 铜互连
- 展长勇
- 作品数：34被引量：20H指数：3
- 供职机构：四川大学
- 研究主题：多孔硅 高压脉冲电源 离子源 电化学刻蚀 形貌
- 邹宇
- 作品数：27被引量：4H指数：1
- 供职机构：四川大学
- 研究主题：高压脉冲电源 离子源 多孔硅 电化学刻蚀 掺杂
