张海波
作品数: 47被引量:1H指数:1
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:机械工程

相关作者

林妩媚
作品数:127被引量:133H指数:7
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
邢廷文
作品数:251被引量:420H指数:12
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
廖志杰
作品数:62被引量:62H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
甘大春
作品数:22被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:照明系统 补偿装置 光束控制 均匀性 入射
卢亮
作品数:20被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:照明系统 补偿装置 均匀性 掩模 光刻