-
朱效立
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 谢常青
- 作品数：506被引量：260H指数：8
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
- 刘明
- 作品数：1,362被引量：407H指数：11
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
- 李海亮
- 作品数：83被引量：52H指数：4
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
- 李冬梅
- 作品数：146被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：敏感膜 延迟线 柔性衬底 光刻胶 气体传感器
- 牛洁斌
- 作品数：132被引量：75H指数：5
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
