-
费玖海
-
-
- 所属机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家高技术研究发展计划
相关作者
- 刘涛
- 作品数:7被引量:33H指数:4
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
- 研究主题:化学机械抛光 泵头 蠕动泵 压力控制 CMP
- 杨师
- 作品数:13被引量:22H指数:3
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
- 研究主题:化学机械抛光 集成电路 SEMI 半导体制造设备 抛光
- 高慧莹
- 作品数:11被引量:37H指数:4
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
- 研究主题:化学机械抛光 蓝宝石 衬底材料 LED 碳化硅
- 孙振杰
- 作品数:5被引量:18H指数:3
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
- 研究主题:化学机械抛光 泵头 蠕动泵 CMP 温度控制
- 蒲继祖
- 作品数:6被引量:1H指数:1
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
- 研究主题:瓷片 LTCC 线性电机 丝网印刷 低温共烧陶瓷