-
席峰
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 夏洋
- 作品数:501被引量:61H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
- 李楠
- 作品数:133被引量:19H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
- 张庆钊
- 作品数:48被引量:26H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:启辉 原子层沉积 等离子体 刻蚀工艺 电极
- 李勇滔
- 作品数:197被引量:22H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
- 胡冬冬
- 作品数:9被引量:9H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:进气结构 启辉 刻蚀系统 刻蚀工艺 室内气流