-
刘键
-

-

- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 刘新宇

- 作品数:876被引量:299H指数:7
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 ALGAN/GAN
- 夏洋

- 作品数:501被引量:61H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
- 李超波

- 作品数:354被引量:157H指数:7
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
- 饶志鹏

- 作品数:39被引量:24H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
- 和致经

- 作品数:97被引量:95H指数:5
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:ALGAN/GAN 欧姆接触 HEMT ALGAN/GAN_HEMT 钛