刘凤丽
作品数: 4被引量:9H指数:2
  • 所属机构:辽宁大学
  • 所在地区:辽宁省 沈阳市
  • 研究方向:金属学及工艺

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李桂范
作品数:15被引量:17H指数:2
供职机构:东北大学理学院数学系
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赵德文
作品数:313被引量:592H指数:12
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔