杨涛
作品数： 233被引量：0H指数：0
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

李俊峰
作品数：514被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
李俊杰
作品数：185被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：刻蚀 半导体器件 沟道 纳米线 电子设备
赵超
作品数：565被引量：35H指数：4
供职机构：清华大学
研究主题：半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
高建峰
作品数：113被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：刻蚀 半导体器件 衬底 沟道 热电堆
贺晓彬
作品数：98被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：刻蚀 光刻胶 电子束曝光 电子束 掩模
作品列表