黄成
作品数: 98被引量:32H指数:1
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

罗先刚
作品数:681被引量:325H指数:8
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
赵泽宇
作品数:264被引量:41H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
王长涛
作品数:214被引量:61H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
王彦钦
作品数:119被引量:26H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 衍射 表面等离子体 光刻 掩模
陶兴
作品数:36被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:衍射 超分辨 多层膜 光刻 金属