-
何勍
-
-
- 所属机构:辽宁工业大学
- 所在地区:辽宁省 锦州市
- 研究方向:一般工业技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 王宏祥
- 作品数:140被引量:403H指数:9
- 供职机构:辽宁工业大学机械工程与自动化学院
- 研究主题:压电振子 振子 直线超声电机 超声电机 行波
- 翟科
- 作品数:9被引量:7H指数:2
- 供职机构:辽宁工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 声传播 压电换能器 高频超声 复合压电振子
- 任奕
- 作品数:8被引量:6H指数:2
- 供职机构:辽宁工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 硅片 振子 声传播 机械抛光
- 王红静
- 作品数:7被引量:14H指数:2
- 供职机构:辽宁工学院
- 研究主题:直线超声电机 超声电机 有限元分析 压电陶瓷 方环形振子
- 张玉成
- 作品数:7被引量:1H指数:1
- 供职机构:辽宁工业大学
- 研究主题:变电压 耦合剂 抛光装置 抛光液 抛光硅片