-
王毅博
-
-
- 所属机构:上海集成电路研发中心
- 所在地区:上海市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:中国科学院知识创新工程重要方向项目
相关作者
- 李佳青
- 作品数:37被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:物料输送系统 物料输送 物料 输送车 硅片
- 戴文俊
- 作品数:35被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:研磨 晶圆 研磨液 修整 化学机械研磨
- 赵军
- 作品数:59被引量:694H指数:14
- 供职机构:中国科学院东北地理与农业生态研究所
- 研究主题:黑土 黑土区 土壤肥力 地统计学 农田黑土
- 黄仁东
- 作品数:40被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
- 王伟军
- 作品数:34被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:刻蚀 形貌 刻蚀工艺 图形化 空气隙