-
张巍
-
-
- 所属机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 所在地区:陕西省 西安市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 刘松
- 作品数:19被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
- 单光宝
- 作品数:22被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
- 孙有民
- 作品数:15被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀
- 袁海
- 作品数:6被引量:15H指数:1
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:TSV RDL 硅晶圆 光刻分辨率 胶层
- 杜欣荣
- 作品数:4被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:TSV SOI衬底 刻蚀 晶圆 盲孔