田芳馨
作品数: 21被引量:0H指数:0
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

相关作者

路新春
作品数:355被引量:355H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
李弘恺
作品数:35被引量:0H指数:0
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 CMP 控制系统 膜厚 电涡流传感器
赵乾
作品数:138被引量:9H指数:2
供职机构:清华大学
研究主题:电极 隐身 晶圆 图像增强 涡流传感器
何永勇
作品数:257被引量:876H指数:16
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
孟永钢
作品数:314被引量:684H指数:15
供职机构:清华大学
研究主题:电流变液 隐身 气体润滑 金属 脱附