-
刘长宇
-

-

- 所属机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 所在地区:天津市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:天津市自然科学基金
相关作者
- 刘玉岭

- 作品数:481被引量:754H指数:13
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
- 孙鸣

- 作品数:43被引量:74H指数:5
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
- 牛新环

- 作品数:126被引量:324H指数:9
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
- 刘博

- 作品数:21被引量:46H指数:5
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 ULSI 铜布线 抛光液 压强差
- 贾英茜

- 作品数:40被引量:95H指数:6
- 供职机构:石家庄学院
- 研究主题:化学机械抛光 抛光液 钨 MEMS CMP