-
邵花
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 王文东
- 作品数:64被引量:12H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 大气等离子喷涂
- 夏洋
- 作品数:501被引量:61H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
- 李勇滔
- 作品数:197被引量:22H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
- 刘邦武
- 作品数:91被引量:169H指数:8
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
- 韦亚一
- 作品数:196被引量:34H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:光刻 掩模 版图 光源 刻蚀