-
廖志远
-
-
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 白瑜
- 作品数：90被引量：295H指数：12
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光学设计 数值孔径 光焦度 大数值孔径 红外光学系统
- 邢廷文
- 作品数：251被引量：418H指数：12
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
- 朱红伟
- 作品数：32被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
- 邓超
- 作品数：86被引量：10H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
- 林妩媚
- 作品数：127被引量：133H指数：7
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
