陈景
作品数: 5被引量:28H指数:4
  • 所属机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

王立发
作品数:29被引量:44H指数:4
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 粗糙度 T/R组件 硬盘基板
武亚红
作品数:7被引量:28H指数:4
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 粗糙度 抛光液 SIO2
马振国
作品数:6被引量:33H指数:4
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 蓝宝石衬底 粗糙度 抛光液
刘玉岭
作品数:481被引量:754H指数:13
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
王晓云
作品数:1被引量:6H指数:1
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 镁合金 抛光液 抛光速率
正在加载数据...